[发明专利]硼化锆-氮化硼二元导电陶瓷蒸发舟的制备工艺

权利要求书

1.一种硼化锆-氮化硼二元导电陶瓷蒸发舟的制备工艺，其特征在于采用以下步骤：（1）将原料硼化锆、氮化硼和高温烧结助剂按重量百分比为：55～65%：30～40%：3～7%混合，加入无水乙醇球磨1～3天得到混合均匀的料浆；（2）料浆在旋转蒸发器上蒸发烘干，然后研磨得到混合粉料；（3）再将混合粉料装入表面涂覆氮化硼的石墨磨具中，在氩气气氛下热压烧结，烧结温度为1800～1900℃，保温0.5～2h，压力为20～40 MPa，即得硼化锆-氮化硼二元导电陶瓷蒸发舟。

2.如权利要求1所述的硼化锆-氮化硼二元导电陶瓷蒸发舟的制备工艺，其特征在于：步骤（1）中原料硼化锆的粒径为1～5μm。

3.如权利要求1所述的硼化锆-氮化硼二元导电陶瓷蒸发舟的制备工艺，其特征在于：步骤（1）中原料氮化硼为片状，厚度为50～200nm，粒径为0.5～5μm。

4.如权利要求1所述的硼化锆-氮化硼二元导电陶瓷蒸发舟的制备工艺，其特征在于：步骤（1）中高温烧结助剂由Al粉和Y₂O₃中的一种或两种的混合。