[发明专利]基于RF空腔的过程流体传感器

权利要求书

1.一种用于过程流体的空腔传感器，包括：

第一和第二相对反射器；

波导，设置在第一和第二反射器之间，从而在第一和第二反射器之间限定空腔长度，其中，所述空腔长度基于与过程流体的热力学接触；

波长调整器，连接至所述波导，独立于所述热力学接触而调整所述空腔长度；以及

信号耦合器，将所述波导耦合至具有波长的电磁场，使得当所述波长对应于所述空腔长度时，所述空腔传感器对所述电磁场进行强散射。

2.根据权利要求1所述的空腔传感器，其中，所述波导限定了在1毫米和1米之间的空腔长度。

3.根据权利要求1所述的空腔传感器，其中，所述空腔长度是实质上纵向的有效谐振长度。

4.根据权利要求1所述的空腔传感器，其中，所述空腔长度是实质上横向的有效谐振长度。

5.根据权利要求1所述的空腔传感器，其中，所述信号耦合器包括线缆连接器，所述线缆连接器用于将所述波导耦合至信号线缆内部的电磁场。

6.根据权利要求1所述的空腔传感器，其中，所述信号耦合器耦合至所述空腔以接收查询信号，以及当所述查询信号与所述空腔频率匹配时发送回波信号，所述信号耦合器包括线缆连接器，所述线缆连接器被配置为将所述查询信号从线缆传导至所述空腔、以及将所述回波信号从所述空腔传导至所述线缆，

所述空腔传感器还包括：变送器，被配置为向所述信号耦合器发送所述查询信号，从所述信号耦合器接收所述回波信号，以及根据所述回波信号来测量所述过程流体参数。

7.根据权利要求1所述的空腔传感器，其中，所述空腔由导电材料形成，并且具有大约为1的内部折射率。