[发明专利]一种直流触发型电源钳位ESD保护电路在审

专利信息
申请号: 201410461041.0 申请日: 2014-09-11
公开(公告)号: CN104347622A 公开(公告)日: 2015-02-11
发明(设计)人: 王源;陆光易;曹健;贾嵩;张兴 申请(专利权)人: 北京大学
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 郝瑞刚
地址: 100871*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 直流 触发 电源 esd 保护 电路
【说明书】:

技术领域

发明涉及集成电路芯片静电放电(Electronic Static Discharge,ESD)保护领域,尤其涉及一种直流触发型电源钳位ESD保护电路。

背景技术

半导体集成电路芯片的ESD保护设计一直是半导体业界关于可靠性设计的重点和难点。随着半导体工艺的不断进步,集成电路ESD设计的窗口不断变窄,片上ESD保护变得越发困难。用作片上ESD保护的结构应该具有如下的特点:触发电压应高于芯片的正常操作电压,同时低于芯片内部器件的失效电压;维持电压要高于芯片的正常工作电压,同时,二次击穿电流要尽可能的大,开启电阻要尽可能的小。

电源钳位ESD保护电路是放置于电源线与地线之间的ESD保护单元,其作用是在不同模式的ESD冲击发生时,保证芯片电源线上不出现过压的现象,以此避免内部器件因过压而产生失效。常见的电源钳位ESD保护电路用瞬态探测模块来识别ESD事件,当探测到有ESD事件时,泄放晶体管迅速转入开启状态,泄放静电电荷,保证芯片内部器件的安全。瞬态探测机制的弊病在于:泄放晶体管容易被瞬态噪声误触发,造成不必要的功率损耗。直流触发型电源钳位ESD保护电路探测的是电源线上电压的幅值,当电压幅值大到一定程度之后,触发电路提供有效信号给泄放晶体管,用以泄放静电电荷来确保内部器件的安全。

附图1和附图2所示为现有技术中的直流触发型电源钳位ESD保护电路,工作原理是:电阻和二极管串决定保护电路的直流触发电压,当电源线上的电压超过此直流触发电压,泄放晶体管打开泄放静电电荷,与此同时,反馈晶体管(Mfb)也被触发。Mfb被触发有两个好处:一是确保泄放晶体管在ESD事件的整个期间内都保持在开启状态;二是确保泄放晶体管的关断电压比开启电压小,使得静电电荷泄放更加完全。

在先进的集成电路工艺里,器件的失效电压不断减小,要实现有效的芯片ESD保护,电源钳位ESD保护电路的触发电压也应该相应的减小。由此,附图1和附图2所示的电源钳位ESD保护电路存在如下问题:附图1所示的保护电路使用电阻加两个二极管的探测方案,虽然能够实现较小的触发电压,但是在正常偏置下的漏电很大;附图2所示的保护电路使用的电阻加四个二极管的探测方案,能够保证正常偏置时的漏电较小,但是不能满足较小触发电压的需求。

因此,针对以上不足,需要提供一种直流触发型电源钳位ESD保护电路,使得保护电路在芯片正常工作时漏电很小;在ESD事件发生时,其触发电压和维持电压能落在先进工艺下ESD防护窗口范围内,形成有效的ESD保护,确保内部器件的安全。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明要解决的技术问题是在保证正常偏置下漏电流小的前提下,实现在ESD事件发生时,触发电压和维持电压落在先进工艺下ESD防护窗口范围内。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题,本发明提供了一种直流触发型电源钳位ESD保护电路,放置于芯片的电源线VDD和地线VSS之间,所述直流触发型电源钳位ESD保护电路包括

泄放晶体管Mbig,用于泄放静电电荷;

直流电压探测电路,连接于所述电源线VDD与所述地线VSS之间,并与所述泄放晶体管Mbig相连接;用于判别所述电源线VDD上的脉冲是否为静电放电脉冲,若是,则发送相应信号给所述泄放晶体管Mbig

其中,所述直流电压探测电路包括电阻Rg,所述电阻Rg的一端与所述地线VSS相连,用于保证在芯片正常工作时,所述泄放晶体管Mbig的栅极有一个直流到地的通路,使所述泄放晶体管Mbig保持在关断状态。

优选地,所述泄放晶体管Mbig为NMOS晶体管,所述泄放晶体管Mbig的源极与所述地线VSS相连,所述泄放晶体管Mbig的漏极与所述电源线VDD相连,所述泄放晶体管Mbig的栅极与所述电阻Rg的另一端相连。

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