[发明专利]一种高纯盐酸的亚沸蒸馏方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种高纯盐酸的亚沸蒸馏方法。

背景技术

超净高纯试剂(Process Chemicals)是微电子工业、特别是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之一，主要用于芯片的清洗和腐蚀，其纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。超净高纯盐酸是超净试剂中需求较大的一种，是一种附加值较高的产品。

超净高纯试剂的提纯技术有以下几种：蒸馏与精馏、等温蒸馏、亚沸蒸馏、减压蒸馏、升华、化学处理技术、气体吸收技术、颗粒控制技术等。超净高纯盐酸的控制指标涉及多项内容，包括浓度、色度、有机杂质、游离氯含量、酸根离子含量、金属离子含量、颗粒度等。截至目前，没有任何一种提纯技术的效果能够同时满足众多的指标要求，往往是多种提纯技术的综合利用，方能达到目的。就金属离子的去除而言，一般采取亚沸蒸馏的方法。

传统的亚沸蒸馏装置一般由高纯石英材料或氟聚合材料制成，其结构为在两端封闭的大石英管内斜插一冷凝管，下面绕有一U型石英管，管内有电炉丝作为加热器，加热器不直接加热液体，依靠辐射加热液体表面。蒸馏器下部有三个小孔，分别作为供料、溢流和收集蒸馏液用。这种亚沸蒸馏的方法其蒸发面较小，蒸发速率较慢，能源利用率较低。有文献报道，以传统型亚沸蒸馏器精制硝酸，在150W的加热功率下，8小时才能制备约200毫升精制硝酸；在400W的加热功率下，8小时能制备约1200毫升高纯水，这主要是受加热方式和蒸发方式的限制。

其它的相关技术如：CN102874757A公开了一种高纯盐酸的制备方法，使用工业盐酸为原料，通过蒸发、超滤、吸收、亚沸蒸馏等工艺处理，制备满足HG/T2778-2009行业标准的高纯盐酸；河南化工【2010，27(7)，61-62】的方法通过对工业盐酸制备装置进行工艺改进，制备的工业盐酸浓度大于36.0％，Fe小于3mg/L；上海氯碱化工【2006，(1)，13-17】对传统亚沸蒸馏的工艺进行研究优化，制备的盐酸浓度可达36-38％，金属离子含量小于0.1ppb，达到了国际半导体设备与材料组织(SEMI)提出的Semi-C12标准，但蒸馏速率较慢，只能达到150-200毫升/小时。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种高纯盐酸的亚沸蒸馏方法。

为解决以上技术问题，本发明采用如下技术方案：

一种高纯盐酸的亚沸蒸馏方法，所述亚沸蒸馏方法为将来自氟碳烷烃生产装置的盐酸经过预热器预热后进入蒸馏器，在所述蒸馏器中进行降膜式蒸发，蒸发后的蒸汽在所述蒸馏器内经冷凝后收集得到高纯盐酸，未被蒸发的液体通过循环泵泵入到所述预热器中，其中，所述蒸馏器包括具有加热夹套的釜体、设置在所述釜体顶部的封头、设置在所述釜体内的用于冷凝所述蒸汽的冷凝器、设置在所述釜体内并位于所述冷凝器下方的集液器及靠近所述釜体内侧壁设置的布膜器，所述布膜器上靠近所述釜体内侧壁的一侧开设有多个出料孔，所述预热器的物料进入到所述布膜器内，再经过所述出料孔喷射到所述釜体内侧壁成膜流下；所述高纯盐酸的浓度大于35.0％，所述高纯盐酸中金属离子含量小于1ppb，所述预热器的预热温度为55～65℃；所述蒸馏器的加热温度为65～75℃。

所述布膜器为沿所述釜体圆周方向环绕的环形管，所述环形管的靠近所述釜体内侧壁的一侧与所述釜体内侧壁的间隙为1～10mm。

多个所述出料孔在所述环形管上沿所述环形管的长度方向均匀分布。

所述布膜器位于所述加热夹套的上方并靠近所述加热夹套设置。

所述冷凝器与所述封头相连，并且所述冷凝器的冷却介质进口管和出口管均穿过所述封头而伸出所述釜体外；所述集液器与所述釜体的底部相连，所述集液器的出料管穿过所述釜体的底部而伸出所述釜体外。

所述集液器的集液口位于所述冷凝器的正下方，所述集液器的集液口的横截面面积大于所述冷凝器的横截面面积。

所述冷凝器的冷却温度为0～15℃。

所述循环泵的流量为0.06×S～0.3×S、单位为m³/h，其中，S为所述蒸馏器的蒸发面积、单位为m²。所述蒸馏器的蒸发面积为所述釜体的内侧壁的面积。

为了保证产品的浓度及防止在釜体内侧壁上结垢，要求所述来自氟碳烷烃生产装置的盐酸的浓度大于33.0％，所述来自氟碳烷烃生产装置的盐酸中的金属离子含量小于200mg/L。

由于上述技术方案的实施，本发明与现有技术相比具有如下优点：