[发明专利]f‑theta光学镜头有效
申请号: | 201410457580.7 | 申请日: | 2014-09-10 |
公开(公告)号: | CN104317034B | 公开(公告)日: | 2017-04-19 |
发明(设计)人: | 孙明睿;刘金荣;蒲继祖 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
主分类号: | G02B13/00 | 分类号: | G02B13/00 |
代理公司: | 北京中建联合知识产权代理事务所(普通合伙)11004 | 代理人: | 朱丽岩 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | theta 光学 镜头 | ||
1.一种f-theta光学镜头,其特征在于,包括沿光线入射方向设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜及第五透镜,其中,所述第一透镜为凹凸型正透镜,所述第二透镜为双凹型负透镜,所述第三透镜为凹凸型正透镜,所述第四透镜为凹凸型正透镜,所述第五透镜为平凸型正透镜,该镜头的焦距为257mm,入瞳直径为15mm,入射光波长为355nm,视场角为11º,加工面积为100×100mm;
所述第一透镜包括相对的第一曲面及第二曲面,其中,所述第一曲面的曲率半径为-485mm,所述第二曲面的曲率半径为-155mm;所述第一透镜的光轴中心厚度为10mm,所述第一透镜的材料为石英玻璃,所述第一透镜的折射率为1.46。
2.根据权利要求1所述的f-theta光学镜头,其特征在于,所述第二透镜包括相对的第三曲面及第四曲面,其中,所述第三曲面的曲率半径为-73mm,所述第四曲面的曲率半径为197mm;所述第二透镜的光轴中心厚度为10mm,所述第二透镜的材料为K9玻璃,所述第二透镜的折射率为1.53。
3.根据权利要求1所述的f-theta光学镜头,其特征在于,所述第三透镜包括相对的第五曲面及第六曲面,其中,所述第五曲面的曲率半径为-133mm,所述第六曲面的曲率半径为-90mm;所述第三透镜的光轴中心厚度为15mm,所述第三透镜的材料为石英玻璃,所述第三透镜的折射率为1.46。
4.根据权利要求1所述的f-theta光学镜头,其特征在于,所述第四透镜包括相对的第七曲面及第八曲面,其中,所述第七曲面的曲率半径为-534mm,所述第八曲面的曲率半径为-159mm;所述第四透镜的光轴中心厚度为20mm,所述第四透镜的材料为K9玻璃,所述第四透镜的折射率为1.53。
5.根据权利要求1所述的f-theta光学镜头,其特征在于,所述第五透镜包括相对的第九曲面及第十曲面,其中,所述第九曲面的曲率半径为无穷大,所述第十曲面的曲率半径为-133mm;所述第五透镜的光轴中心厚度为30mm,所述第五透镜的材料为K9玻璃,所述第五透镜的折射率为1.53。
6.根据权利要求1所述的f-theta光学镜头,其特征在于,所述第一透镜与激光扫描振镜的距离为30-50mm之间。
7.根据权利要求6所述的f-theta光学镜头,其特征在于,所述的第一透镜与第二透镜在光轴上的距离为50mm,所述第二透镜与第三透镜在光轴上的距离为15mm,所述第三透镜与第四透镜在光轴上的距离为12mm,所述第四透镜与第五透镜在光轴上的距离为30mm。
8.根据权利要求1所述的f-theta光学镜头,其特征在于,所述第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜及第五透镜之间通过多个隔圈进行定位。
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