[发明专利]接触装置

权利要求书

1.一种接触装置，包括：

接触头部；以及

控制部；

其中，所述接触头部包括：

可动部件，能与对象物相接触；

壳体，形成有容纳所述可动部件的容纳室，并能支撑所述可动部件做直线移动；

轴承用气体路径，是为了在所述壳体和所述可动部件之间形成静压气体轴承而供给的压缩气体的路径；

推力气体路径，是为了将使所述可动部件靠近所述对象物之方向的力作用于所述可动部件而供给的压缩气体的路径；

抵消气体路径，是为了将使所述可动部件远离所述对象物之方向的力作用于所述可动部件而供给的压缩气体的路径，

其中，所述轴承用气体路径、所述推力气体路径和所述抵消气体路径开口在所述壳体的所述容纳室，

所述控制部是，在所述可动部件与所述对象物相接触的状态下，通过控制向所述推力气体路径供给的压缩气体的压力以及向所述抵消气体路径供给的压缩气体的压力中的至少一个，使所述可动部件对于所述对象物的加压力为零。

2.如权利要求1所述的接触装置，其特征在于还包括：设定部，在所定范围内设定所述可动部件对于所述对象物的加压力，

而所述设定部设定的加压力的范围包括零。

3.如权利要求1或2所述的接触装置，其特征在于还包括：荷重传感器，用于检测所述可动部件的荷重，

所述控制部基于所述荷重传感器的检测值，控制向所述推力气体路径供给的压缩气体的压力以及向所述抵消气体路径供给的压缩气体的压力中的至少一个。