[发明专利]晶体生长方法、系统及固液转换时点确定方法及装置

权利要求书

1.晶体生长固液转换时点确定方法，其特征在于，包括以下步骤：

11)实时获取坩埚内物料图像；

12)确定相邻的两张所述物料图像相对应的边界形状特征；

13)计算相邻两张所述物料图像边界形状特征的面积，分别为第一特征面积和第二特征 面积；

14)判断所述第一特征面积和所述第二特征面积差值的绝对值是否大于设定值；

15)在所述差值的绝对值大于设定值时，取相邻的两张所述物料图像中较晚拍摄的一张 所述物料图像所对应的拍摄时点作为所述固液转换时点。

2.根据权利要求1所述的晶体生长固液转换时点确定方法，其特征在于，步骤12)包 括：

21)检测所述物料图像每个像素的灰度值；

22)选择所述灰度值大于预设灰度值的像素点，以形成所述边界形状特征。

3.根据权利要求1所述的晶体生长固液转换时点确定方法，其特征在于，步骤12)包 括：

31)检测所述物料图像每个像素的灰度值；

32)计算所有相邻两个像素的灰度值之差；

33)取所述灰度值之差的绝对值大于预设灰度值差中灰度值较大的像素点，作为边界像 素点；

34)以所有所述边界像素点构成的区域作为所述边界形状特征。

4.根据权利要求1-3中任意一项所述的晶体生长固液转换时点确定方法，其特征在于， 步骤11)和步骤12)之间还包括：

对所述物料图像实施降噪处理和/或平滑处理。

5.根据权利要求1所述的晶体生长固液转换时点确定方法，其特征在于，步骤15)之 后还包括：

检测所述固液转换时点对应的炉内温度。

6.晶体生长方法，其特征在于，采用权利要求1-5中任意一项所述的晶体生长固液转换 时点确定方法确定固液转换时点。

7.晶体生长固液转换时点确定装置，用于晶体生长系统，其特征在于，包括：

图像获取单元，用于实时获取所述晶体生长系统的坩埚内物料图像；

确定单元，用于确定相邻的两张所述物料图像相对应的边界形状特征；

第一计算单元，用于计算相邻两张所述物料图像边界形状特征的面积，相邻两张所述物 料图像边界形状特征的面积分别为第一特征面积和第二特征面积；

判断单元，用于判断所述第一特征面积和所述第二特征面积差值的绝对值是否大于设定 值；

取值单元，用于在所述差值的绝对值大于设定值时，取相邻两张所述物料图像中较晚拍 摄的一张所述物料图像所对应的拍摄时点作为所述固液转换时点。

8.根据权利要求7所述的晶体生长固液转换时点确定装置，其特征在于，所述确定单元 包括：

检测单元，用于检测所述物料图像每个像素的灰度值；

构建单元，选择所述灰度值大于预设灰度值的像素点，以形成所述边界形状特征；或者，

所述确定单元包括：

检测单元，用于检测所述物料图像每个像素的灰度值；

第二计算单元，用于计算所有相邻两个像素的灰度值之差；

选择单元，选择所述灰度值之差的绝对值大于预设灰度值差中灰度值较大的像素点，作 为边界像素点；

构建单元，以所有所述边界像素点构成的区域作为所述边界形状特征。

9.根据权利要求7所述的晶体生长固液转换时点确定装置，其特征在于，所述晶体生长 固液转换时点确定装置还包括：

相对于所述图像获取单元的镜头固定，且用于调节进入到所述镜头中光线能量的滤光片。

10.晶体生长系统，其特征在于，所述晶体生长系统具有权利要求7-9中任意一项所述 的晶体生长固液转换时点确定装置。