[发明专利]涂布装置及涂布方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种对基板涂布处理液的技术。

背景技术

近年来，正进行利用有机电致发光(Electroluminescence，EL)材料的有机EL显示装置的开发。例如，在使用了高分子有机EL材料的有源矩阵(active matrix)驱动方式的有机EL显示装置的制造中，对玻璃基板(以下简称作“基板”)，依序形成薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)电路、形成成为阳极的氧化铟锡(Indium Tin Oxide，ITO)电极、形成间隔壁、涂布包含空穴(hole)传输材料的流动性材料(以下称作“空穴传输液”)、利用加热处理形成空穴传输层、涂布包含有机EL材料的流动性材料(以下称作“有机EL液”)、利用加热处理形成有机EL层、形成阴极、及通过形成绝缘膜而进行密封。

在有机EL显示装置的制造中，作为将空穴传输液或有机EL液涂布于基板的装置，专利文献1所示的装置已为人所知。此种涂布装置中，将连续地喷出流动性材料的多个喷嘴，相对于基板而在主扫描方向及副扫描方向上相对移动，由此将流动性材料条纹状地涂布于基板上。

且说，在有机EL显示装置用的基板的表面，在应涂布空穴传输液或有机EL液等流动性材料的涂布区域(即，发光区域)的周围，设置着供驱动器电路装入的区域或为了利用绝缘膜进行密封而所需的区域。在有机EL显示装置的制造中，在空穴传输层或有机EL层的形成工序中，存在如下可能：流动性材料附着于所述涂布区域的周围的区域(以下称作“非涂布区域”)，而如果以附着流动性材料的状态进行后续工序，则存在如下可能：产生电极的特性劣化或密封不良等。因此，至今为止提出了一些防止流动性材料附着于基板上的非涂布区域的技术。

例如，专利文献2中，公开了一种对基板的与非涂布区域对应的部分贴附掩模带(masking tape)的技术。当对贴附了掩模带的基板涂布流动性材料后，通过将掩模带剥离而在基板形成非涂布区域。

而且，专利文献3中公开了如下技术，即，当对基板的整个面涂布了流动性材料后，利用等离子体处理，而从与非涂布区域对应的部分直接去除流动性材料。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2004-111073号公报

[专利文献2]日本专利特开2008-277212号公报

[专利文献3]日本专利特开2011-210531号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

然而，在为专利文献2所记载的技术的情况下，需要在涂布装置外进行对基板贴附掩模带的工序、及从基板剥离掩模带的工序，从而效率欠佳。而且，在将掩模带剥离时，有掩模带的黏着剂附着于基板上而成为残渣的可能。而且，在为专利文献3所记载的技术的情况下，存在如下可能：等离子体处理对作为基底的基板造成不良影响。因此，现有技术中尚存在改善的余地。

本发明鉴于所述课题而完成，其目的在于提供一种对基板有效率且有效地形成流动性材料的非涂布区域的技术。

[解决问题的手段]

为了解决所述课题，第一形态为一种涂布装置，在基板上形成未涂布流动性材料的非涂布区域，且包括：保持部，保持基板；喷出部，朝向由所述保持部保持的所述基板的主面喷出流动性材料；移动机构，使所述喷出部相对于由所述保持部保持的所述基板相对地移动；掩模机构，以与由所述保持部保持的所述基板的主面中的和所述非涂布区域对应的部分相向的方式来配备掩模部，并且使该掩模部配合所述基板的移动而移动。

而且，第二形态在第一形态的涂布装置中，所述移动机构使所述喷出部在与所述基板的主面平行的主扫描方向及与所述主扫描方向交叉的副扫描方向上相对地移动。

而且，第三形态在第一形态或者第二形态的涂布装置中，所述掩模机构包括：带状的掩模带；送出部，将所述掩模带送出；卷绕部，将从所述送出部送出的所述掩模带卷绕；抵压部，将从所述送出部送出的所述掩模带抵压到所述基板，且所述送出部配合由所述移动机构进行的所述基板的移动而将所述掩模带送出。

而且，第四形态在第三形态的涂布装置中，所述送出部以所述掩模带的移动方向及移动量与所述基板的移动方向及移动量一致的方式，而将所述掩模带送出。

而且，第五形态在第三形态或第四形态的涂布装置中，所述抵压部一边使所述掩模带的宽度方向端部从所述基板浮起，一边将所述掩模带抵压到所述基板。

而且，第六形态在第五形态的涂布装置中，所述抵压部在与所述掩模带的宽度方向两端部中的至少一个端部对应的部分，具有直径减小的辊。