[发明专利]基于静电斥力和引力混合驱动的射频MEMS开关有效
| 申请号： | 201410444896.2 | 申请日： | 2014-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN104201059A | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 赵清华;李刚;于洋;张文栋;李朋伟;郭兴军;程超群 | 申请（专利权）人： | 太原理工大学 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源;武建云 |
| 地址： | 030024 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 静电 斥力 引力 混合 驱动 射频 mems 开关 | ||
1.一种基于静电引力和斥力混合驱动的射频MEMS开关，其特征在于：包括衬底（10），所述衬底（10）上覆盖有氧化层（9），所述氧化层（9）上表面的两侧分别设置有第一接地线（1）和第二接地线（2），所述第一接地线（1）和第二接地线（2）之间架设有可动桥膜；所述氧化层（9）上表面中部并排设置有与可动桥膜方向一致的第一固定电极（4）、第二固定电极（5）和第三固定电极（6），所述第二固定电极（5）位于可动桥膜的正下方，所述第一固定电极（4）和第三固定电极（6）位于第二固定电极（5）的两侧；所述氧化层（9）上表面设置有与接地线方向一致、且横跨可动桥膜的信号传输线，所述可动桥膜上位于信号传输线下方的位置设有介质层（8）。
2.根据权利要求1所述的基于静电引力和斥力混合驱动的射频MEMS开关，其特征在于：所述第一接地线（1）和第二接地线（2）保持平行。
3.根据权利要求1或2所述的基于静电引力和斥力混合驱动的射频MEMS开关，其特征在于：所述可动桥膜包括具有弹性的横梁（7b），所述横梁（7b）的两端分别通过第一支撑梁（7a）和第二支撑梁（7c）支撑在第一接地线（1）和第二接地线（2）上。
4.根据权利要求3所述的基于静电引力和斥力混合驱动的射频MEMS开关，其特征在于：所述信号传输线包括固定在氧化层（9）上的输入端（3a）和输入端（3e），所述输入端（3a）和输出端（3e）上分别通过第一支撑臂（3b）和第二支撑臂（3d）支撑有中间臂（3c）。
5.根据权利要求4所述的基于静电引力和斥力混合驱动的射频MEMS开关，其特征在于：所述介质层（8）的材料是氮化硅或高介电常数材料PZT。
6.根据权利要求5所述的基于静电引力和斥力混合驱动的射频MEMS开关，其特征在于：所述氧化层（9）的材料是二氧化硅。
7.根据权利要求6所述的基于静电引力和斥力混合驱动的射频MEMS开关，其特征在于：所述横梁（7b）的材料是金。
8.根据权利要求7所述的基于静电引力和斥力混合驱动的射频MEMS开关，其特征在于：所述第一固定电极（4）、第二固定电极（5）和第三固定电极（6）之间的间距相等，材料是金。
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