[发明专利]声响转换器及麦克风

权利要求书

1.一种声响转换器，其特征在于，具有：

基板，其具有空洞；

振动电极板，其配设于所述基板的上方，具有用于释放压力的空隙部；

固定电极板，其以与所述振动电极板相对的方式配置在所述基板的上方；

多个传感部，将所述振动电极板和所述固定电极板中的至少一方分割成多个区域，由分割的各区域的所述振动电极板和所述固定电极板构成所述传感部；

泄漏压调整部，其以将未变形的所述振动电极板的所述空隙部的上面开口和下面开口中的一方堵塞的方式与所述振动电极板的上面侧或下面侧相对配置，即，在所述振动电极板未变形时，防止通过所述空隙部的空气压的泄漏，在所述振动电极板受到压力而变形时，使所述空隙部分开而通过所述空隙部释放压力。

2.如权利要求1所述的声响转换器，其特征在于，

多个所述传感部分别输出灵敏度不同的信号。

3.如权利要求1所述的声响转换器，其特征在于，

所述空隙部是将所述振动电极板分割的各区域之间的间隙。

4.如权利要求3所述的声响转换器，其特征在于，

所述振动电极板被所述间隙分割成多个区域。

5.如权利要求3所述的声响转换器，其特征在于，

所述泄漏压调整部是收纳在未变形时的所述振动电极板的所述间隙的板状部件。

6.如权利要求1所述的声响转换器，其特征在于，

所述空隙部是形成于所述振动电极板的开口。

7.如权利要求6所述的声响转换器，其特征在于，

所述泄漏压调整部是收纳在未变形时的所述振动电极板的所述开口的板状部件。

8.如权利要求1所述的声响转换器，其特征在于，

所述空隙部是形成于所述振动电极板的边缘的、向振动电极板内侧凹陷的凹部。

9.如权利要求8所述的声响转换器，其特征在于，

所述泄漏压调整部是位于未变形时的所述振动电极板的所述凹部的板状部件。

10.如权利要求1所述的声响转换器，其特征在于，

所述泄漏压调整部位于未变形的所述振动电极板的所述空隙部，

在所述泄漏压调整部的边缘和所述空隙部的边缘之间形成有缝隙。

11.如权利要求10所述的声响转换器，其特征在于，

所述缝隙的宽度为10μm以下。

12.如权利要求4所述的声响转换器，其特征在于，

在隔着所述间隙而位于一侧的所述振动电极板的被分割的区域和所述泄漏压调整部之间形成的缝隙的一端、和在隔着所述间隙而位于另一侧的所述振动电极板的被分割的区域和所述泄漏压调整部之间形成的缝隙的一端以90°的角度交叉。

13.如权利要求1所述的声响转换器，其特征在于，

所述泄漏压调整部是以将未变形的所述振动电极板的所述空隙部的下面开口堵塞的方式设置的所述基板的上面的一部分。

14.如权利要求1所述的声响转换器，其特征在于，

在所述基板的上方，以与所述振动电极板相对的方式配置有背板，

在所述背板的与所述振动电极板相对侧的面设有支承部，

所述泄漏压调整部固定在所述支承部。

15.如权利要求14所述的声响转换器，其特征在于，

所述支承部的水平截面面积比所述泄漏压调整部的面积小。

16.如权利要求14所述的声响转换器，其特征在于，

所述泄漏压调整部由多个所述支承部支承。

17.如权利要求16所述的声响转换器，其特征在于，

在所述支承部和所述支承部的中间，在所述背板上设有通孔。

18.如权利要求5所述的声响转换器，其特征在于，

所述泄漏压调整部固定于在所述基板的上面设置的支承部。