[发明专利]等离子体放电装置

权利要求书

1.一种等离子体放电装置，其特征在于，包括：

谐振电路，所述谐振电路包括串联的电感装置和电容，所述电感装置包括磁芯和缠绕所述磁芯的线圈；其中，磁芯为铁氧体磁芯，线圈由导线在铁氧体磁芯上缠绕制成，铁氧体磁芯组成闭合回路，所述电容包括第一电容和第二电容，所述第一电容设置在所述线圈的一端与匹配网络之间，第一电容和第二电容与线圈串联组成电容-电感(LC)串联谐振回路，所述第二电容设置在所述线圈的另一端与匹配网络之间；

交流电源，采用开关电源，为等离子体放电提供功率，其中，所述交流电源向缠绕在闭合磁路的铁氧体磁芯上的线圈中通入交变电流，所述交变电流在闭合磁路的铁氧体磁芯中产生交变的磁场，交变的磁场在空间产生出电场，利用所述电场激发出等离子体；

匹配网络，所述匹配网络设置在所述交流电源和所述谐振电路之间，用于匹配所述交流电源和等离子体的放电功率，减少交流电源的功率反射；

腔室，所述腔室用于产生所述等离子体，放电的气压可以调节，所述腔室为真空腔室，工作时气体从腔室的一端进入，在线圈附近产生等离子体，等离子体中的产物从腔室另一端流出；

电介质层，所述电介质层位于所述腔室和所述电感装置之间，将真空腔室中的等离子体与真空腔室外的线圈隔离开，同时保证真空腔室密封，同时所述腔室被构造为适于闭合磁回路形成的结构，其中，真空腔室为一个圆柱形腔，所述真空腔室中间横穿多根管为电介质管；磁芯在电介质管中和真空腔室外形成回路，磁芯由一个半圆环和一个圆棒组合成，所述圆棒穿过电介质管，所述半圆环位于腔室外，且半圆环与圆柱形腔室结构相适应。

2.根据权利要求1所述的等离子体放电装置，其特征在于，所述匹配网络为L型匹配网络、II型匹配网络或阻抗变换的变压器。