[发明专利]蒸镀坩埚和蒸镀装置

说明书

技术领域

本发明涉及显示装置的制造技术领域，具体涉及一种蒸镀坩埚和包括该蒸镀坩埚的蒸镀装置。

背景技术

显示装置的显示方式包括液晶显示(Liquid Crystal Display，LCD)、有机发光二极管显示(Organic Light-Emitting Diode，OLED)，和等离子显示等多种方式，其中OLED显示具有轻薄、低功耗、高对比度、高色域以及柔性显示等优点，成为下一代显示器的发展趋势。OLED显示包括有源矩阵有机发光二级体面板(Active Matrix Organic Light Emitting Diode，AMOLED)和无源矩阵有机发光二极管(Passive Matrix Organic Light Emitting Diode，PMOLED)。实现OLED显示时，使用低温多晶硅面板(Low Temperature Poly-silicon，LTPS)+高精度金属掩膜板(Fine Metal Mask，FMM)的方式已初步成熟。

FMM模式是通过蒸镀方式将有机材料程度到LTPS背板上，利用FMM上的图形形成红、绿、蓝器件。蒸镀是在真空腔体中，使用线性坩埚进行蒸镀。图1为现有的蒸镀坩埚的结构示意图，蒸镀坩埚的坩埚本体10采用的钛(Ti)制成，使得坩埚本体受热后的温度均匀性较差，整体温度均匀性有较低，从而使得蒸镀材料的受热均匀性较低；同时，蒸镀材料内部距离坩埚本体的内壁较远，受热较慢，而蒸镀材料直接接触内壁的部分受热较快，导致部分材料没有蒸发，另一部分材料受热过度而变性，从而造成材料的浪费，且影响蒸镀效果。

发明内容

本发明的目的在于提供一种蒸镀坩埚和蒸镀装置，以使得蒸镀工艺中，蒸镀材料的受热更加均匀。

为了实现上述目的，本发明提供一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体上形成有容纳腔，所述蒸镀坩埚还包括导热层，所述导热层设置在所述坩埚本体的内壁上，且制成所述导热层的材料的热传导率大于制成所述坩埚本体的材料的热传导率。

优选地，制成所述坩埚本体的材料包括钛或钛合金，制成所述导热层的材料包括铜、铜合金、银和银合金中的任意一种。

优选地，所述蒸镀坩埚还包括设置在所述容纳腔内的导热结构，所述导热结构与所述导热层相连，当蒸镀材料设置在所述容纳腔内时，所述蒸镀材料的一部分与所述导热结构接触，且加热所述蒸镀坩埚时，所述蒸镀材料能够从所述容纳腔内逸出。

优选地，所述导热结构包括多个导热隔板，多个所述导热隔板将所述容纳腔分隔成多个形成有开口的子腔体。

优选地，多个所述导热隔板包括至少一个第一隔板，所述第一隔板沿所述容纳腔的长度方向延伸，和/或

多个所述导热隔板包括至少一个第二隔板，所述第二隔板沿所述容纳腔的宽度方向延伸。

优选地，多个所述导热隔板包括多个第一隔板和多个第二隔板。

优选地，所述导热结构包括至少一个导热网，所述导热网沿所述容纳腔的深度方向将所述容纳腔分隔成多个子腔体。

优选地，所述导热结构包括沿所述容纳腔的深度方向依次排列的多个所述导热网。

优选地，制成所述导热结构的材料与制成所述导热层的材料相同。

相应地，本发明还提供一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括本发明所提供的上述蒸镀坩埚。

可以看出，由于所述坩埚本体的内壁上设置有热传导率较大的导热层，当坩埚本体受热产生温度不均一的现象时，所述导热层能够快速地将热量均匀地分布在导热层中，从而使整个导热层的温度更均匀，进而均匀地向蒸镀材料传递热量；并且，所述容纳腔内设置有导热结构，该导热结构可以将热量快速传递至蒸镀材料内部，使得蒸镀材料的不同区域可以均匀受热，减少温度不均匀造成的材料变性的发生，从而改善了蒸镀效果。

附图说明

附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1是现有技术中蒸镀坩埚的结构示意图；

图2是本发明第一种实施方式中的蒸镀坩埚结构示意图；

图3是图2中蒸镀坩埚的俯视图；

图4是本发明第二种实施方式中的蒸镀坩埚结构示意图；

图5是图4中蒸镀坩埚的俯视图。

其中，附图标记为：

10、坩埚本体；11、导热层；12、导热隔板；121、第一隔板；122、第二隔板；13、子腔体；20、导热网。

具体实施方式