[发明专利]一种切断体及其制造方法

说明书

本申请是申请号：201180010405.8，申请日：2011.02.23，发明名称：“树脂被覆锯丝的设计方法”的申请(PCT/JP2011/054032)的分案申请。

技术领域

本发明涉及以锯床切断硅和陶瓷等的工件时所使用的锯丝，详细地说，是涉及设计在钢丝的表面被覆有树脂的树脂被覆锯丝的方法。

背景技术

硅和陶瓷等的工件，被安装有锯丝的锯床切断。锯丝沿一个方向或双方向(往返方向)运行，通过使该锯丝与工件接触，工件被以任意的宽度切割。

在工件的切断时，已知的方法有，一边向锯丝喷射含有磨粒(以下称为游离磨粒。)的研磨浆一边切断工件的方法(现有方法1)，和使用在基底丝的表面附着固定有磨粒的带固定磨粒锯丝切断工件的方法(现有方法2)。前者的方法中，喷射的研磨浆所含的游离磨粒被卷入工件与锯丝之间，锯丝与工件的磨耗被促进，由此工件的磨削加工得到促进，工件被切断。另一方面，后者的方法中，通过固定在表面的磨粒使工件的磨耗得到促进，从而工件的磨削加工促进，工件被切断。

另外，在专利文献1中，公开有一种方法(现有方法3)，其是使用以带磨粒的树脂皮膜被覆高碳钢等的钢丝的外周面的金属丝，一边埋入含有游离磨粒的溶液，一边切断工件的方法。

于是，以锯丝切断硅的切断体，例如，作为太阳能电池的基板使用。不过，在切断体的切断面，在切断时形成有加工变质层(也称为损伤层。)。有该加工变质层残留的状态下，其被指出对于基板的接合品质变差，无法充分地获得作为太阳能电池的特性(专利文献2)，需要除去该加工变质层。

先行技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006－179677号公报

专利文献2：日本特开2000－323736号公报

图1表示如上述现有方法1的这样，作为锯丝使用钢丝，向钢丝喷射游离磨粒，一边卷入磨粒一边进行切断时的情况。若根据本发明者们的研究则可知，在该方法中，磨粒沿着对于工件切入钢丝的方向被卷入，并且钢丝与工件的切断面(工件壁面)之间有磨粒卷入，因此工件的切断面也被实施磨削加工，形成加工变质层。另外判明，切断面的表面粗糙度也变粗。

图2表示如上述现有方法2、3这样，将固定磨粒固定在锯丝的表面，或一边埋入磨粒一边切断工件时的情况。根据本发明者们的研究，这些方法均与上述图1同样，对于工件的切断面(工件的壁面)也会实施磨削加工，因此加工变质层形成得深。

如上述图1、图2所示，在现有方法中，在切断体的切断面形成有加工变质层，因此如上述专利文献2所指出的，需要通过下游侧的工序除去该加工变质层。如果省略这一加工变质层除去工序，则能够提高切断体的成品率和生产率。

另外，上述切断面除了形成加工变质层以外，由于切断时所使用的磨粒还导致有凹凸形成而变得粗糙。但是切断体的表面通常要求是平滑的，因此在下游侧的工序实施蚀刻。如果省略该蚀刻工序，则能够提高切断体的生产率。

发明内容

本发明鉴于这样的状况而完成，其目的在于，提供一种树脂被覆锯丝的设计方法，其在使用钢丝的表面被覆有树脂的树脂被覆锯丝切断工件时，能够得到加工变质层深度浅，有着平滑的表面的切断体。

本发明包含以下的形态。

[1]一种树脂被覆锯丝的设计方法，其包括以规定硬度的树脂被覆钢丝，得到树脂被覆锯丝的工序，其中，

通过反复进行下述(1)～(4)，以使工件的切断面的加工变质层深度合格的方式调节树脂的硬度。

(1)以所得到的树脂被覆锯丝切断工件。

(2)调查工件的切断面的加工变质层深度。

(3)确认加工变质层深度的合格与否。

(4)不合格时，用更硬的树脂被覆钢丝。

还有，作为上述合格与否的标准，只要能够得到本发明的效果这样的加工变质层深度即可，例如，可列举如后述这样，加工变质层深度5μm以下作为合格的标准。

[2]根据[1]所述的设计方法，其中，所述加工变质层深度比5μm深时，以更硬的树脂被覆钢丝。

[3]一种树脂被覆锯丝的设计方法，其包括以规定硬度的树脂被覆钢丝，得到树脂被覆锯丝的工序，其中，

通过反复进行下述(1)～(4)，以使工件的切断面的表面粗糙度合格的方式调节树脂的硬度。

(1)以所得到的树脂被覆锯丝切断工件。

(2)调查工件的切断面的表面粗糙度。

(3)确认表面粗糙度的合格与否。

(4)不合格时，以更硬的树脂被覆钢丝。