[发明专利]一种能够控制碳源气流向的沉积炉无效
| 申请号: | 201410431180.9 | 申请日: | 2014-08-28 |
| 公开(公告)号: | CN104195526A | 公开(公告)日: | 2014-12-10 |
| 发明(设计)人: | 崔鹏;施伟伟 | 申请(专利权)人: | 西安航空制动科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;C23C16/26 |
| 代理公司: | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人: | 慕安荣 |
| 地址: | 710075 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 能够 控制 碳源 流向 沉积 | ||
1.一种能够控制碳源气流向的沉积炉,包括沉积炉底座、料柱底板、料柱盖板、和多个外垫环;所述的料柱底板放置在沉积炉底座上方,在料柱底板的上表面依次叠放外垫环和碳纤维预制体,形成料柱;料柱盖板放置在料柱顶层;其特征在于,还包括内垫环和导气筒,其中,所述的导气筒位于料柱的中心,被安放在料柱底板上;多个内垫环与外垫环和碳纤维预制体按外垫环――碳纤维预制体――内垫环――碳纤维预制体――外垫环的顺序循环叠放在料柱底板上,直至完成料柱的叠放,并在料柱的顶层放置内垫环;料柱盖板放置在位于料柱顶层的内垫环的上表面。
2.如权利要求1所述能够控制碳源气流向的沉积炉,其特征在于,所述导气筒的外径小于碳纤维预制体的内径,导气筒的壁厚为5~10mm;在该导气筒的壳体上沿该导气筒的轴向等距离排列有多个贯通的气流孔组,每组有6个气流孔10,并且各气流孔组中的6个气流孔10在所处导气筒壳体的同一环形截面上均匀分布;所述通气孔的孔径为8~12mm。
3.如权利要求1所述能够控制碳源气流向的沉积炉,其特征在于,所述内垫环的内径与碳纤维预制体的内径相同,该内垫环的外径小于外垫环的内径,以有利于气流通过碳纤维预制体;内垫环的环带宽度为10~20mm,厚度为5~10mm,内垫环的内圆与碳纤维预制体的内圆齐平。
4.如权利要求1所述能够控制碳源气流向的沉积炉,其特征在于,所述外垫环外垫环的环带宽度为10~20mm,厚度为5~10mm。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





