[发明专利]金属粉末制造用等离子体装置及金属粉末的制造方法

权利要求书

1.一种金属粉末制造方法，其包括：

准备金属粉末制造用等离子体装置的工序；

使用所述金属粉末制造用等离子体装置制造金属粉末的工序，

所述金属粉末制造用等离子体装置具备：

反应容器，其中被供给金属原料；

等离子体枪，该等离子体枪在其与所述反应容器内的金属原料之间生成等离子体，使所述金属原料蒸发以生成金属蒸汽；

载气供给部，其向所述反应容器内供给用于搬运所述金属蒸汽的载气；

冷却管，具有与所述反应容器连通的上游端、在冷却管长方向上位于所述上游端相反侧的下游端、包含所述上游端的第一部分以及包含所述下游端的第二部分，所述第二部分与所述第一部分相比位于下游侧，该冷却管对利用所述载气从所述反应容器输送的所述金属蒸汽边从所述上游端向所述下游端输送边进行冷却，以生成金属粉末，

刮板，其从所述冷却管的所述下游端嵌插到所述冷却管内，并用于除去附着于所述冷却管的内壁的附着物，

其特征在于，

所述制造金属粉末的工序在使所述刮板在所述冷却管的所述第二部分待机的状态下进行。

2.如权利要求1所述的金属粉末制造方法，其特征在于，

所述冷却管相对于水平方向倾斜10～80°地设置于所述反应容器，并使得所述冷却管的下游端位于所述冷却管的上游端的上方。

3.如权利要求1或2所述的金属粉末制造方法，其特征在于，

所述冷却管的所述第一部分进一步包含间接冷却区，所述间接冷却区对利用所述载气从所述反应容器输送的所述金属蒸汽和/或金属粉末进行间接冷却。

4.如权利要求1～3中任一项所述的金属粉末制造方法，其特征在于，

所述间接冷却区通过用冷却用流体冷却所述冷却管的周围，从而在所述金属蒸汽和/或金属粉末不与该冷却用流体直接接触的情况下对所述金属蒸汽和/或金属粉末进行冷却。

5.如权利要求4所述的金属粉末制造方法，其特征在于，

在所述间接冷却区中，用于冷却所述冷却管周围的所述冷却用流体使用水或温水。

6.如权利要求1～5中任一项所述的金属粉末制造方法，其特征在于，

所述第二部分进一步包含对利用所述载气从所述反应容器输送的所述金属蒸汽和/或金属粉末进行直接冷却的直接冷却区。

7.如权利要6所述的金属粉末制造方法，其特征在于，

所述直接冷却区通过使冷却用流体与所述金属蒸汽和/或金属粉末直接接触从而对所述金属蒸汽和/或金属粉末进行冷却。

8.如权利要7所述的金属粉末制造方法，其特征在于，

在所述直接冷却区中，用于与所述金属蒸汽和/或金属粉末直接接触的所述冷却用流体包含与所述载气相同的气体。

9.如权利要求1～8中任一项所述的金属粉末制造方法，其特征在于，

所述冷却管的所述第二部分在所述直接冷却区的下游侧进一步包括待机用区，所述制造金属粉末的工序在使所述刮板的刮板头在所述待机用区待机的状态下进行。

10.如权利要求1～9中任一项所述的金属粉末制造方法，其特征在于，

供给至所述反应容器中的所述金属原料是含有所述金属粉末的金属成分的导电性物质，且为粒状或块状的金属材料或合金材料。

11.如权利要求1～10中任一项所述的金属粉末制造方法，其特征在于，

所述金属成分包含选自银、金、铜、镍、钯中的1种以上的元素。

12.如权利要求1～11中任一项所述的金属粉末制造方法，其特征在于，

根据所述金属原料变为所述金属蒸汽而从所述反应容器减少的量随时向所述反应容器补充所述金属原料。

13.如权利要求1～12中任一项所述的金属粉末制造方法，其特征在于，

使用金属镍作为所述金属原料，使用含氮气体作为所述载气，由此制造镍金属粉末。

14.如权利要求1～13中任一项所述的金属粉末制造方法，其特征在于，

所述刮板包含棒状的轴和设置在所述轴的一端的刮板头，所述刮板头配置于所述冷却管的内部，并且，所述轴的另一端通过设置于所述冷却管的所述第二部分的所述下游端的插入口而延伸至所述冷却管的外部。