[发明专利]一种宽量程石墨烯高温压力传感器

权利要求书

1.一种宽量程石墨烯高温压力传感器，其特征在于，包括：键合基板、复合金属电极及传感器阵列，所述传感器阵列固定在键合基板上，所述复合金属电极嵌入在键合基板和传感器阵列之间；

所述传感器阵列由M个单元传感器组成，所述M个单元传感器采用1×M的排列方式固定在键合基板上，每个单元传感器的结构相同，厚度不相同，所述传感器单元包括N个敏感单元；

复合金属电极包括主电极及接触点，所述接触点溅射于主电极一侧的中心区域；

键合基板刻蚀有接触孔，接触孔的位置和接触点的位置对应。

2.根据权利要求1所述的宽量程石墨烯高温压力传感器，其特征在于，所述单元传感器包括一第一氮化硼层、N个中间石墨烯层及N个第二氮化硼层，所述第一氮化硼层下表面和N个中间石墨烯层的一侧面完全覆盖相连，N个中间石墨烯层之间相互存在间隙，所述N个中间石墨烯的另一侧面中间区域和第二氮化硼层的上表面接触相连，所述第一氮化硼层、一中间石墨烯层及一第二氮化硼层构成一个敏感单元，所述一个单元传感器具有N个敏感单元，所述N个敏感单元的结构相同，厚度相同。

3.根据权利要求2所述的宽量程石墨烯高温压力传感器，其特征在于，所述石墨烯层的另一侧面两端区域和主电极另一侧接触相连。

4.根据权利要求2所述的宽量程石墨烯高温压力传感器，其特征在于，所述N个敏感单元为A×B个敏感单元，横向为A个，纵向为B个。

5.根据权利要求2所述的宽量程石墨烯高温压力传感器，其特征在于，所述每个单元传感器的厚度不相同，具体为组成单元传感器的第二氮化硼层厚度不相同。

6.根据权利要求2所述的宽量程石墨烯高温压力传感器，其特征在于，所述第一氮化硼层的厚度大于第二氮化硼层的厚度。

7.根据权利要求2所述的宽量程石墨烯高温压力传感器，其特征在于，所述第一氮化硼层上表面刻蚀压力腔，压力腔的下底为承压膜。

8.根据权利要求7所述的宽量程石墨烯高温压力传感器，其特征在于，所述压力腔采用感应耦合等离子体刻蚀技术在第一氮化硼层上表面进行刻蚀。

9.根据权利要求1所述的宽量程石墨烯高温压力传感器，其特征在于，所述接触孔有金属铂和耐热玻璃的混合物填充。