[发明专利]一种基于PVD的传感元与金属基体的一体化集成方法无效
| 申请号： | 201410413314.4 | 申请日： | 2014-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN104233185A | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 崔荣洪;何宇廷;伍黎明;杜金强;侯波 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军空军工程大学 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/16;C23C14/22 |
| 代理公司： | 北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙) 11368 | 代理人： | 郭官厚 |
| 地址： | 710071 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 pvd 传感 金属 基体 一体化 集成 方法 | ||
1.一种基于PVD的传感元与金属基体的一体化集成方法，包括以下步骤：
(1)将金属基底放入PVD镀膜仪的腔室，抽真空至小于6×10-3Pa；
(2)通过针阀向所述PVD镀膜仪的腔室中通入惰性气体，至所述PVD镀膜仪的腔室的真空度在0.3～1.3Pa为止；
(3)对所述金属基体加负偏压100～300V，对所述金属基体进行惰性气体轰击清洗5～20min；
(4)对步骤(3)所述金属基体加负偏压60～150V，以传感元材质金属为靶材，启动弧电源，起弧并调整弧电流至50～80A，进行PVD镀膜30～80min，在步骤(3)所述金属基体表面形成传感元膜层；
(5)随炉冷至100℃以下，取出步骤(4)所述金属基体即可。
2.如权利要求1所述的一种基于PVD的传感元与金属基体的一体化集成方法，其特征在于，所述金属基底是经过表面绝缘化处理的金属工件。
3.如权利要求1所述的一种基于PVD的传感元与金属基体的一体化集成方法，其特征在于，步骤(1)将金属基底放入PVD镀膜仪的腔室之前，所述金属基底需要预处理，所述预处理包括以下步骤：
(1)利用肥皂和清水将所述金属基底去油；
(2)将所述金属基底放入三氯乙烯中超声清洗；
(3)将所述金属基底放入液态氟利昂中超声清洗；
(4)将所述金属基底放入清水超声清洗；
(5)将所述金属基底放入去离子水超声清洗；
(6)将所述金属基底放入烘箱烘干。
4.如权利要求1所述的一种基于PVD的传感元与金属基体的一体化集成方法，其特征在于，步骤(1)所述抽真空包括以下步骤：
(11)关闭高阀，打开前级阀，用机械泵抽真空至20Pa；
(12)扩散泵通冷却水，并打开扩散泵，所述扩散泵加热至少40min；
(13)将真空抽气系统的气路阀门调至前级/高阀处，并打开所述高阀，使用所述扩散泵进一步抽真空，直到PVD镀膜仪的腔室的真空度小于6×10-3Pa为止。
5.如权利要求1所述的一种基于PVD的传感元与金属基体的一体化集成方法，其特征在于，步骤(4)所述靶材为黄铜、铝、银、钛、不锈钢、镁中的一种或几种。
6.如权利要求1所述的一种基于PVD的传感元与金属基体的一体化集成方法，其特征在于，步骤(4)所述的传感元膜层的厚度为2～8μm。
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