[发明专利]静态存储器的检测设备及检测方法

权利要求书

1.一种静态存储器的检测设备，其特征在于，包括：

检测模块，用于在一扫描方向下扫描并获取静态存储器的数据图形；其中，晶圆上有个缺口，作为晶圆位置标记，通过该晶圆位置标记来确定晶圆的扫描方向；

数据模块，用于存储检测模块获得的数据图形；

分析模块，用于调取所述数据模块中的重复排列的数据图形进行对比分析，找出发生数据异常的位置；方向转换模块，用于将非扫描方向上的重复排列的静态存储器的数据图形转换到扫描方向上，并将其存储到所述数据模块中；或方向转换模块将非扫描方向上的重复排列的静态存储器进行方向转换，使其转换到扫描方向上，并将其存储到所述数据模块中；然后分析模块调取存储到数据模块中的重复排列的数据图形进行对比分析，从而找出发生数据异常的位置。

2.一种静态存储器的检测方法，其特征在于，采用权利要求1所述的检测设备，所述检测方法包括：

将具有不同方向上重复排列的静态存储器的晶圆置于检测设备中；

确定对所述晶圆的扫描方向，并且检测模块沿所述扫描方向对所述晶圆开始进行扫描检测；其中，晶圆上有个缺口，作为晶圆位置标记，通过该晶圆位置标记来确定晶圆的扫描方向；

检测模块获取所述各个方向上重复排列的静态存储器的数据图形并存储到数据模块中；其中，在此过程中，分析模块调取所述数据模块中的在扫描方向上重复排列的静态存储器的数据图形进行对比分析，找出所述扫描方向上重复排列的静态存储器中发生数据异常的位置；

所述检测模块获取整个晶圆上的静态数据图形并存储到所述数据模块中后，分析模块调取所述数据模块中的所述非扫描方向上重复排列的静态存储器的数据图形进行对比分析，找出其发生数据异常的位置；

在所述检测模块获取完整个晶圆上的静态数据图形并存储到所述数据模块中后，还包括：

方向转换模块将非扫描方向上重复排列的静态存储器的数据图形转换到扫描方向上，并将其存储到所述数据模块中；

分析模块调取所述数据模块中的所述转换到扫描方向上的重复排列的数据图形进行对比分析，找出所述非扫描方向上重复排列的静态存储器中发生数据异常的位置。

3.一种静态存储器的检测方法，其特征在于，包括：

将具有不同方向上重复排列的静态存储器的晶圆置于检测设备中；

确定对所述晶圆的扫描方向，并且检测模块沿所述扫描方向对所述晶圆开始进行扫描检测；其中，晶圆上有个缺口，作为晶圆位置标记，通过该晶圆位置标记来确定晶圆的扫描方向；

检测模块获取所述各个方向上重复排列的静态存储器的数据图形，并将其存储到数据模块中；

方向转换模块将非扫描方向上重复排列的静态存储器的数据图形转换到扫描方向上；

分析模块调取所述数据模块中的在扫描方向上重复排列的数据图形进行对比分析，从而找出发生数据异常的位置。

4.一种静态存储器的检测方法，其特征在于，包括：

将具有不同方向上重复排列的静态存储器的晶圆置于检测设备中；

确定对所述晶圆的扫描方向；其中，晶圆上有个缺口，作为晶圆位置标记，通过该晶圆位置标记来确定晶圆的扫描方向；将晶圆上的V型缺口朝下；

方向转换模块将晶圆进行方向转换，使得在非扫描方向上重复排列的静态存储器转换为在所述扫描方向上重复排列的静态存储器；将晶圆的V型缺口超有设置；

检测模块通过扫描并获取所述转换后的在扫描方向上重复排列的静态存储器的数据图形，并将其存储到所述数据模块中；

检测模块沿所述扫描方向对所述晶圆开始进行扫描检测，并获取在扫描方向上重复排列的静态存储器的数据图形，并将其存储到数据模块中；

在所述扫描方向上，当扫描到所述非扫描方向上重复排列的静态存储器时，检测模块对其只进行扫描但不存储到数据模块中；

分析模块调取所述数据模块中在扫描方向上重复排列的数据图形进行对比分析，从而找出发生数据异常的位置。