[发明专利]一种组装探针卡上探针头的方法和组装系统

权利要求书

1.一种组装探针卡上探针头的方法，该方法包括:

将多块定位板叠放在一起，每块定位板都直接与至少一块其他的定位板紧贴，这样每块定位板上的孔也与其他定位板上对应的孔对齐；

探针分别插入多块定位板上对应的孔；

当探针插入后，分隔开多块定位板，这样没有一块定位板与其他定位板接触。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于上述多块定位板中至少包括一块上层定位板和一块下层定位板。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于多块定位板还包括：

一块浮动定位板，位于上层定位板和下层定位板之间，用来控制探针的弯曲或扭曲。

4. 根据权利要求3所述的方法，其特征在于上述浮动定位板使得探针弯曲或扭曲时不会互相接触。

5. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于分隔多块定位板包括：

在多块定位板之间插入一块或多块分隔片。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于当探针接触被测元件（DUT）时，一块或多块分隔片可以使得探针弯曲或扭曲。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于一块或多块分隔片组成的多层分隔片，它由至少2部分组装而成。

8.一种探针头组装系统，其特征在于探针组装工装、工装控制，所述工装控制包括带电脑可读存储介质的存储器、处理器、控制界面，电脑可读存储介质中包含程序指令，处理器执行这些指令时，控制探针组装工装进行如下步骤：

将一组探针分别插入多孔定位板上对应的一组孔；

在插入探针之前，多块定位板叠放在一起，每块定位板都直接与至少一块其他的定位板紧贴，这样每块定位板上的孔也与其他定位板上对应的孔对齐；

当插入探针之后，多块定位板分隔开，没有一块定位板与其他定位板接触。

9.根据权利要求8所述的探针头组装系统，其特征在于当插入探针之后，使用一块或多块多层分隔片来分隔开多块定位板。

10.根据权利要求9所述的探针头组装系统，其特征在于一块或多块多层分隔片由至少2部分组装而成。

11. 根据权利要求8所述的探针头组装系统，其特征在于多块定位板至少包括一块上层定位板和一块下层定位板。

12. 根据权利要求11所述的探针头组装系统，其特征在于多块定位板还包括：

一块浮动定位板，位于上层定位板和下层定位板之间，用来控制探针的弯曲或扭曲。

13.根据权利要求12所述的探针头组装系统，其特征在于浮动定位板使得探针弯曲或扭曲时不会互相接触。

14.根据权利要求8所述的探针头组装系统，其特征在于探针组装工装包括：

一种方法用于多块定位板叠放在一起，每块定位板都直接与至少一块其他的定位板紧贴，这样每块定位板上的孔也与其他定位板上对应的孔对齐；

一种方法用于一组探针分别插入多块定位板上对应的孔；

一种方法用于当插入一组探针之后，多块定位板分隔开，没有一块定位板与其他定位板接触。

15.一种探针头，包括：

多块可分隔定位板，每块定位板上包括一组孔；

一组探针分别插入多块定位板上对应的孔；

一块或多块多层分隔片在多块可分隔定位板之间形成空隙，使得探针接触被测元件（DUT）时可以弯曲或扭曲，所述分隔片由至少两部分组装而成，所述两部分之间可以接触或不接触。

16.根据权利要求15所述的探针头，其特征在于多块定位板至少包括一块上层定位板和一块下层定位板。

17.根据权利要求16所述的探针头，其特征在于多块可分隔定位板还包括：

一块浮动定位板，位于上层定位板和下层定位板之间，用来控制探针的弯曲或扭曲；

根据权利要求17所述的探针头，其特征在于浮动定位板使得探针弯曲或扭曲时不会互相接触。