[发明专利]超窄带滤光片的透射率光谱测量装置及方法无效
申请号: | 201410403279.8 | 申请日: | 2014-08-15 |
公开(公告)号: | CN104180901A | 公开(公告)日: | 2014-12-03 |
发明(设计)人: | 马小凤;刘定权;王曙光;蔡清元;陈刚;张莉;朱佳琳 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海技术物理研究所 |
主分类号: | G01J3/28 | 分类号: | G01J3/28 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 郭英 |
地址: | 200083 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 窄带 滤光 透射率 光谱 测量 装置 方法 | ||
1.一种0.1~1nm超窄带滤光片的透射率光谱测量装置,它包括光源系统(1)、会聚镜(2)、准直镜(3)、样品架(4)、光信号接收系统(5)和数据分析与处理系统(6),其特征在于:
光源系统(1)发射的光依次经过会聚镜(2)和准直镜(3)后垂直照射在垂直放置在样品架(4)上的被测超窄带滤光片上,经滤光片透射后被光信号接收系统(5)所接收并转换成电信号,然后输入到数据分析与处理系统(6),经过数据分析处理得到滤光片的透射率光谱曲线。
2.根据权利要求1所述的一种0.1~1nm超窄带滤光片的透射率光谱测量装置,其特征在于:所述的光源系统(1)采用一只发射光波长连续、发射光光谱带宽大于30nm的LED光源。
3.根据权利要求1所述的一种0.1~1nm超窄带滤光片的透射率光谱测量装置,其特征在于:所述的光信号接收系统(5)为一个适用于连续波长的激光波长计,该激光波长计的响应波段覆盖上述LED光源的发射光光谱带宽,波长准确度优于0.01nm,光谱分辨率优于0.005nm。
4.一种基于权利要求1所述装置的超窄带滤光片的透射率光谱测量方法,其特征在于方法如下:首先启动光源系统(1)、光信号接收系统(5)和数据分析与处理系统(6);等上述系统处于稳定状态后,保持样品架为空,以空气为背景对背景信号进行采集,并得到一组作为样品测量基准的光能量随波长变化的基准数据;接下来将被测超窄带滤光片置于样品架上,对被测滤光片进行透射信号采集得到光能量随波长变化的第二组数据;最后通过数据分析与处理系统将第二组数据除以上面的基准数据,即可获得所测超窄带滤光片的透射率光谱曲线,从该曲线进而获得被测超窄带滤光片的光谱带宽和中心波长。
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