[发明专利]太阳能电池制备方法及太阳能电池在审
| 申请号： | 201410403111.7 | 申请日： | 2014-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN104157736A | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 和江变;郭凯华;郭永强;倪明镜;段敏;李健 | 申请（专利权）人： | 内蒙古日月太阳能科技有限责任公司;内蒙古大学 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 阚梓瑄;路兆强 |
| 地址： | 010111 内蒙古*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 制备 方法 | ||
1.一种太阳能电池制备方法，包括扩散工艺；其特征在于，所述扩散
工艺包括：
S1.对预处理后的硅片进行第一次磷扩散，在其上形成N型区以及太阳能电池的PN结结构；
S2.对经第一次扩散后的硅片进行第二次磷扩散，增加所述N型区表层的磷浓度。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池制备方法，其特征在于，所述第一次磷扩散包括：
S11.在750-850℃温度下，进行580-620秒的恒定源磷扩散；
S12.将所述步骤S11中温度升高20-30℃后，进行580-620秒的限定源磷扩散。
3.根据权利要求2所述的太阳能电池制备方法，其特征在于，所述步骤S11中恒定源磷扩散在以下气氛中进行：
小氮流量：1180-1250ml/min；
大氮流量：25000-27000ml/min；
氧气流量：950-1050ml/min。
4.根据权利要求2所述的太阳能电池制备方法，其特征在于，所述步骤S12中限定源磷扩散在以下气氛中进行：
大氮流量：20000-22000ml/min。
5.根据权利要求1所述的太阳能电池制备方法，其特征在于，所述第二次磷扩散包括：
S21.在820-830℃温度下，进行700-760秒的恒定源磷扩散。
6.根据权利要求5所述的太阳能电池制备方法，其特征在于，所述步骤S21中恒定源磷扩散在以下气氛中进行：
小氮流量：1220-1250ml/min
大氮流量：25000-27000ml/min
氧气流量：1000-1050ml/min。
7.根据权利要求5所述的太阳能电池制备方法，其特征在于，所述步骤S21之后还包括：
S22：进行280-300秒的降温处理；所述降温处理在以下气氛中进行：
大氮流量：20000-22000ml/min。
8.根据权利要求1所述的太阳能电池制备方法，其特征在于，所述扩散工艺之后还包括：
在680-720℃温度下，进行1680-1800秒的热处理工艺。
9.根据权利要求8所述的太阳能电池制备方法，其特征在于，所述热处理工艺在以下气氛中进行：
大氮流量：20000-22000ml/min。
10.一种通过根据权利要求1-9任意一项所述的太阳能电池制备方法制备的太阳能电池。
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