[发明专利]一种离子源挡板在审
| 申请号： | 201410399143.4 | 申请日： | 2014-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN105331944A | 公开（公告）日： | 2016-02-17 |
| 发明（设计）人： | 韩滨;闫少健;付德春 | 申请（专利权）人： | 宜昌后皇真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46 |
| 代理公司： | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人： | 姜荣华 |
| 地址： | 443500 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 离子源 挡板 | ||
【权利要求书】：
1.一种离子源挡板，其特征在于：所述的离子源挡板包括底板（5），两根旋转轴（3）的一端穿过底板（5）与气动阀机（4）械连接，二根旋转轴（3）分别固定一块不绣钢板（1）。
2.根据权利要求1所述的一种离子源挡板，其特征在于：所述不绣钢板（1）后端与旋转轴（3）连接、前端设有弧形板（6）。
3.根据权利要求2所述的一种离子源挡板，其特征在于：分设在二个所述不绣钢板（1）上的二个弧形板（6）呈镜像对称，二个弧形板（6）不相接触。
4.根据权利要求1所述的一种离子源挡板，其特征在于：所述不绣钢板（1）上设有凹槽，贴板（7）上设有凸起，贴板（7）的凸起能放入凹槽中，固定贴板（7）与不绣钢板（1）。
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