[发明专利]一种扫描薄板结构的工业CL系统的扫描装置

权利要求书

1.一种扫描薄板结构的工业CL系统的扫描装置，所述扫描装置包括X射线源、探测器，载物台，其特征是，所述载物台设于该X射线源与该探测器之间；

该载物台包括倾斜角度调节转台、扫描转台和载具，通过所述倾斜角度调节转台和扫描转台活动地支撑所述载具；该载具供固定承载一待测样品，所述扫描转台驱动该载具以一水平线为轴旋转；该倾斜角度调节转台能够带动该载具以一垂线为轴旋转；该载具的中心与该X射线源光源出口、该探测器中心能位于同一水平面上。

2.根据权利要求1所述的扫描薄板结构的工业CL系统的扫描装置，其特征是，所述载物台还包括一个移动平台，所述倾斜角度调节转台和扫描转台设于该移动平台上，该移动平台能够在二维方向上移动定位。

3.根据权利要求2所述的扫描薄板结构的工业CL系统的扫描装置，其特征是，所述移动平台包括Z轴移动单元，该Z轴移动单元包括一个Z轴平移基座、以及设于该Z轴平移基座之上且能够沿Z轴方向移动的Z轴平移台；于该Z轴平移台上设有能够沿Y轴方向移动的Y轴平移台；该Y轴平移台上结合该倾斜角度调节转台，该倾斜角度调节转台能够相对该Y轴平移台转动。

4.根据权利要求3所述的扫描薄板结构的工业CL系统的扫描装置，其特征是，所述Z轴移动单元还包括一个Z轴驱动电机，该Z轴驱动电机驱动该Z轴平移基座上方的Z轴平移台沿Z轴方向来回移动；所述载物台还包括一个Y轴驱动电机，该Y轴驱动电机驱动该Z轴平移台上方的Y轴平移台沿Y轴方向来回移动。

5.根据权利要求3所述的扫描薄板结构的工业CL系统的扫描装置，其特征是，所述Z轴平移基座、Z轴平移台是以大理石制作而成。

6.根据权利要求1所述的扫描薄板结构的工业CL系统的扫描装置，其特征是，所述的X射线源、载物台和探测器均设于同一个光学平台上，在该光学平台上设有多排螺孔结构，该探测器通过一个探测器支架结合于该光学平台上，借助该光学平台的多排螺孔结构，能够调节探测器的位置。

7.根据权利要求1所述的扫描薄板结构的工业CL系统的扫描装置，其特征是，所述X射线源包括一个X光机和用于固定和支撑X光机的光机支架，该光机支架上设有可微调该X光机的光源出口水平高度和水平位置的螺旋微调器。

8.根据权利要求1、2、3、4、5、6或7所述的扫描薄板结构的工业CL系统的扫描装置，其特征是，所述载具为安装于该扫描转台中心处的空心筒，该空心筒沿水平方向凸伸出来。

9.根据权利要求8所述的扫描薄板结构的工业CL系统的扫描装置，其特征是，该空心筒为有机玻璃空心筒、铝质空心筒或者钢质空心筒。

10.根据权利要求1、2、3、4、5、6或7所述的扫描薄板结构的工业CL系统的扫描装置，其特征是，在该X射线源的光源出口与该载物台之间安装一个限位光幕，该限位光幕限制该载物台的倾斜角度调节转台在旋转过程中的最大幅度。