[发明专利]一种可在三自由度运动的多探针支架

权利要求书

1.一种可在三自由度运动的多探针支架，其特征在于：它包括升降台(1)、步进电机(2)、减速器(3)、铝合金长板(4)、铝合金滑动板(5)、铝合金端板(6)、铝合金壁板(7)、不锈钢传动板(8)、铝合金顶板(9)、第一直流减速电机(10)、伞齿轮副(11)、引线管(12)、探针夹板(13)、传动丝杆(14)、第二直流减速电机(16)和多根定位丝杆(15)，

步进电机(2)固定安装在升降台(1)上，升降台(1)通过螺栓固定在真空罐中，减速器(3)安装在升降台(1)上并通过联轴器与步进电机(2)连接，铝合金长板(4)固定在减速器(3)的输出轴上，铝合金滑动板(5)可滑动安装在铝合金长板(4)上，铝合金端板(6)、铝合金壁板(7)和不锈钢传动板(8)依次竖直安装在铝合金滑动板(5)上，直流减速电机(10)安装在远离铝合金端板(6)一侧的铝合金滑动板(5)上，传动丝杆(14)依次水平穿设在铝合金端板(6)、铝合金壁板(7)和不锈钢传动板(8)上并通过联轴器与第二直流减速电机(16)连接，多根定位丝杆(15)依次水平穿设在铝合金端板(6)、铝合金壁板(7)和不锈钢传动板(8)上并位于传动丝杆(14)的四周，铝合金顶板(9)安装在铝合金壁板(7)和不锈钢传动板(8)的上端面上，引线管(12)依次竖直穿过铝合金顶板(9)、铝合金滑动板(5)和铝合金长板(4)，第一直流减速电机(10)安装在铝合金顶板(9)上，第一直流减速电机(10)与引线管(12)之间通过伞齿轮副(11)传动连接，引线管(12)的上端设有探针夹板(13)。

2.根据权利要求1所述一种可在三自由度运动的多探针支架，其特征在于：所述多探针支架还包括铝合金管(17)，铝合金管(17)固定安装在铝合金长板(4)的下端面上。

3.根据权利要求2所述一种可在三自由度运动的多探针支架，其特征在于：所述铝合金管(17)的横截面形状为U型。

4.根据权利要求1、2或3所述一种可在三自由度运动的多探针支架，其特征在于：所述升降台(1)包括上板(1-1)、下板(1-2)和多连杆机构(1-3)，上板(1-1)和下板(1-2)平行设置，上板(1-1)和下板(1-2)之间通过多连杆机构(1-3)连接，下板(1-2)通过螺栓连接与真空罐固定连接，上板(1-1)上开设多个通孔。

5.根据权利要求1或4所述一种可在三自由度运动的多探针支架，其特征在于：伞齿轮副(11)的齿数比为1:2。