[发明专利]有利于减少正面栅线数目的异质结电池及其制备方法有效
申请号: | 201410393187.6 | 申请日: | 2014-08-11 |
公开(公告)号: | CN104134707A | 公开(公告)日: | 2014-11-05 |
发明(设计)人: | 郭万武;包健 | 申请(专利权)人: | 常州天合光能有限公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/075;H01L31/20 |
代理公司: | 常州市科谊专利代理事务所 32225 | 代理人: | 孙彬 |
地址: | 213022 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 有利于 减少 正面 栅线数 目的 异质结 电池 及其 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种有利于减少正面栅线数目的异质结电池及其制备方法,属于太阳电池技术领域。
背景技术
目前,薄膜/晶体硅异质结太阳电池的核心是感光面发射极的制作,发射极结构直接决定了电池内建场的分布和载流子输运的效率。此外,异质结电池正面栅线对入射光的遮挡损失一直是影响电池性能的关键因素,通常减少正面栅线有利于对入射光的吸收利用,然而不利于载流子的收集输运,影响电池的整体性能。因此如何在不影响载流子输运效率的前提下,减少感光面栅线数目将成为异质结高效电池的研究方向。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种有利于减少正面栅线数目的异质结电池,它不仅能够改善电池内建电场的分布,弱化载流子对掺杂层的依赖性,而且能够弱化由于衬底的不均匀性导致的电池性能的下降,从而在不影响载流子输运效率的前提心下,减少感光面栅线的数目。
为了解决上述技术问题后,本发明的技术方案是:一种有利于减少正面栅线数目的异质结电池,它具有衬底、正面本征非晶硅薄膜层、掺杂层、透明导电薄膜层和金属栅线层,正面本征非晶硅薄膜层沉积在衬底的正面上,掺杂层沉积在正面本征非晶硅薄膜层的上表面上,透明导电薄膜层沉积在掺杂层的上表面上,金属栅线层设置在透明导电薄膜层的上表面上,其特征在于:所述的掺杂层包括呈交替横向排列的重掺杂区域和轻掺杂区域,并且轻掺杂区域的中部设置有发射极单元隔离层。
进一步,本异质结电池还具有背面本征非晶硅薄膜层、背面场、导电介质层和银浆层,背面本征非晶硅薄膜层沉积在衬底的背面上,背面场沉积在背面本征非晶硅薄膜层的下表面上,导电介质层沉积在背面场的下表面上,银浆层设置在导电介质层的下表面上。
进一步,所述的背面场为重掺杂硅基薄膜,其导电类型与衬底的导电类型相同。
进一步,所述的透明导电薄膜层采用PVD沉积法或MOCVD沉积法制备在掺杂层的上表面上。
进一步,所述的重掺杂区域和轻掺杂区域的导电类型均与衬底的导电类型相反。
进一步,所述的重掺杂区域和轻掺杂区域均采用PECVD沉积法沉积在正面本征非晶硅薄膜层的上表面上。
进一步,所述的发射极单元隔离层采用激光划线法设置在每个轻掺杂区域的中部。
本发明还提供了一种有利于减少正面栅线数目的异质结电池的制备方法,它包含如下步骤:
(1)对衬底进行表面处理;
(2)在衬底的正面生长正面本征非晶硅薄膜层;
(3)制备掺杂层:在正面本征非晶硅薄膜层上交替沉积出重掺杂区域和轻掺杂区域作为异质结电池的发射极,并在每个轻掺杂区域的中部制备出发射极单元隔离层使各发射极单元彼此独立存在,处于横向并联模式;
(4)在掺杂层的上表面沉积透明导电薄膜层;
(5)在透明导电薄膜层的上表面制备金属栅线层;
(6)后续处理,完成有利于减少正面栅线数目的异质结电池的制备。
进一步,在所述的步骤(1)和步骤(2)之间,还包含步骤:在衬底的背面沉积出背面本征非晶硅薄膜层,而后在背面本征非晶硅薄膜层的下表面上沉积出背面场;在所述的步骤(4)和步骤(5)之间,还包含步骤:在背面场的下表面上沉积出导电介质层;在所述的步骤(5)中,并同时在导电介质层的下表面上制备银浆层。
进一步,在所述的步骤(5)中,采用丝网印刷工艺制备金属栅线层,并在金属栅线层和银浆层制备完毕后,在氮气氛围中烘干。
采用了上述技术方案后,作为发射极的掺杂层采用横向梯度式高低掺杂,形成横向浓度梯度高低异质p-n结结构,这种横向高低结改善了内建场分布,有效提升了栅线所处位置的载流子输运效率,弱化了载流子输运对低掺杂区的依赖,进而可以实现在减少栅线数目的前提下获得较高的电流,为载流子输运提供可控性“通道”,进而减小了栅线对光的遮挡损失,提升了电池对光的吸收利用;正面发射极的掺杂层采用独立单元结构,亦即在轻掺杂区域中间采用激光划线技术使其彼此独立存在,各单元发射极之间呈现并联式结构,弱化了由于衬底硅片性能的不均匀性所导致的开压降低及其电池性能下降,有效提升了工艺良率。
附图说明
图1为本发明的有利于减少正面栅线数目的异质结电池的结构示意图;
图2为本发明的有利于减少正面栅线数目的异质结电池的制备方法的流程示意图。
具体实施方式
为了使本发明的内容更容易被清楚地理解,下面根据具体实施例并结合附图,对本发明作进一步详细的说明。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州天合光能有限公司,未经常州天合光能有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410393187.6/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:多晶硅电池的石墨烯电极的印刷工艺
- 下一篇:半导体器件及其制造方法
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的