[发明专利]气路界面显示方法和系统

权利要求书

1.一种气路界面显示方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤S100，根据上位机所能配备的气体种类总数和下位机所需气体种类数，计算步长参数，并在气路界面中第一路气体管路的位置显示所需气体种类中第一种气体的气体管路信息；

步骤S200，检测所述步长参数，当所述步长参数大于或等于预设值时，控制所述气路界面中气体管路的位置以所述步长参数为间隔，均匀显示所述所需气体种类中其他气体的所述气体管路信息。

2.根据权利要求1所述的气路界面显示方法，其特征在于，所述预设值的取值为2。

3.根据权利要求2所述的气路界面显示方法，其特征在于，所述步骤S200包括如下步骤：

步骤S210，检测所述步长参数；

步骤S220，当所述步长参数大于或等于所述预设值时，控制所述气路界面中第1加所述步长参数路气体管路的位置显示所述所需气体种类中第二种气体的所述气体管路信息；

步骤S230，将N的值增大所述步长参数，将M的值增大1；其中，N为整数，且初始值为1与所述步长参数之和；M为整数，初始值为2；

步骤S240，控制所述气路界面中所述第N路气体管路的位置显示所述所需气体种类中第M种气体的所述气体管路信息。

4.根据权利要求3所述的气路界面显示方法，其特征在于，所述步骤S200还包括如下步骤：

步骤S250，检测所述气路界面是否显示全部所述所需气体种类的所述气体管路信息；

步骤S260，当所述气路界面未显示全部所述所需气体种类的所述气体管路信息时，返回执行所述步骤S230，直至所述气路界面显示全部所述所需气体种类的所述气体管路信息。

5.根据权利要求1至4任一项所述的气路界面显示方法，其特征在于，所述步骤S100包括如下步骤：

读取所述上位机所能配备的所述气体种类总数和所述所需气体种类数；

根据：计算所述步长参数。

6.根据权利要求5所述的气路界面显示方法，其特征在于，还包括如下步骤：

检测所述步长参数，当所述步长参数小于所述预设值时，控制所述气路界面中所述气体管路的位置依次显示所述所需气体种类中各气体的所述气体管路信息。

7.一种气路界面显示系统，其特征在于，包括下位机通道、计算控制模块和检测处理模块，其中：

所述下位机通道，设置在下位机工艺腔室的通道中，用于标识工艺腔室的所需气体种类数；

所述计算控制模块，用于根据上位机所能配备的气体种类总数和下位机所需气体种类数，计算步长参数，并在气路界面中第一路气体管路的位置显示所需气体种类中第一种气体的气体管路信息；

所述检测处理模块，用于检测所述步长参数，当所述步长参数大于或等于预设值时，控制所述气路界面中气体管路的位置以所述步长参数为间隔，均匀显示所述所需气体种类中其他气体的所述气体管路信息。

8.根据权利要求7所述的气路界面显示系统，其特征在于，所述检测处理模块包括第一检测单元、第一控制单元、第一设置单元和第二控制单元，其中：

所述第一检测单元，用于检测所述步长参数；

所述第一控制单元，用于当所述步长参数大于或等于所述预设值时，控制所述气路界面中第1加所述步长参数路气体管路的位置显示所述所需气体种类中第二种气体的所述气体管路信息；

所述第一设置单元，用于将N的值增大所述步长参数，将M的值增大1；其中，N为整数，且初始值为1与所述步长参数之和；M为整数，初始值为2；

所述第二控制单元，用于控制所述气路界面中所述第N路气体管路的位置显示所述所需气体种类中第M种气体的所述气体管路信息。