[发明专利]一种光致电离等离子体发生器

权利要求书

1.一种光致电离等离子体发生器，其特征在于设有光致电离等离子体腔和紫外光源；

所述紫外光源置于光致电离等离子体腔内，或紧靠光致电离等离子体腔，所述光致电离等离子体腔为密闭腔体，密闭腔体内充有混合气体，紫外光源两端的电极分别与高压交流电源的两输出端电连接。

2.如权利要求1所述一种光致电离等离子体发生器，其特征在于所述混合气体采用惰性气体He、Ar、Ne中的至少两种。

3.如权利要求1所述一种光致电离等离子体发生器，其特征在于所述光致电离等离子体腔采用对紫外线有高透射率的材料制作。

4.如权利要求3所述一种光致电离等离子体发生器，其特征在于所述光致电离等离子体腔采用石英玻璃或透紫外线高分子材料。

5.如权利要求1所述一种光致电离等离子体发生器，其特征在于所述紫外光源采用激光光源、紫外汞灯光源、紫外线金属卤化物灯光源、氙灯光源中的一种。

6.如权利要求1所述一种光致电离等离子体发生器，其特征在于所述光致电离等离子体腔呈球状。

7.如权利要求6所述一种光致电离等离子体发生器，其特征在于所述球状的球径为200mm，球心留有中空通道用于放置紫外光源。

8.如权利要求1所述一种光致电离等离子体发生器，其特征在于所述交流电源的输出电压为1～30kV，频率为1～20kHz，脉冲调制频率为10～1000Hz，脉冲调制占空比为1％～99％。