[发明专利]接触式位移计

权利要求书

1.一种接触式位移计，包括壳体、接触件、标尺、光投射单元、光接收单元、检测单元和计算单元，其特征在于：

所述接触件以在一个方向上可移动的方式被所述壳体支撑；

所述标尺具有在所述一个方向上排列的多个透光狭缝，并且被配置为与所述接触件一起在所述一个方向上可移动；

所述光投射单元以非平行光照射所述标尺；

所述光接收单元接收通过所述标尺上的所述多个透光狭缝的所述非平行光，并且输出表示光接收量分布的光接收信号；

所述检测单元检测其中光接收量处于所述接收单元上的光接收量分布中的最大值或最小值处的多个位置作为多个峰值位置；

所述计算单元基于由所述检测单元检测到的所述多个峰值位置以及校正信息，来计算参考位置和所述标尺上的所述多个透光狭缝中的与由所述检测单元检测到的至少一个峰值位置对应的至少一个透光狭缝的位置之间的距离，所述校正信息表示所述光接收单元上的光接收量分布中的多个峰值位置之间的距离和所述标尺上分别与所述多个峰值位置对应的多个透光狭缝之间的距离的关系，并且

所述光投射单元和所述光接收单元设置在所述壳体中，使得所述光投射单元、所述标尺和所述光接收单元在与所述一个方向交叉的方向上排列。

2.根据权利要求1所述的接触式位移计，其中，

所述标尺上的所述多个透光狭缝中的每一个透光狭缝被通过使用标识符来唯一地、可识别地排列，所述标识符基于包括该透光狭缝在内并具有预定位置关系的所述多个透光狭缝之间的距离，

所述接触式位移计进一步设置有第一存储单元，所述第一存储单元存储与所述标尺上的所述多个透光狭缝相关的多个标识符，以及

所述计算单元基于由所述检测单元检测到的所述多个峰值位置和存储在所述第一存储单元中的所述多个标识符，来识别与由所述检测单元检测到的至少一个峰值位置相对应的至少一个透光狭缝。

3.根据权利要求2所述的接触式位移计，其中，所述多个标识符中的每一个都包括具有预定位置关系的三个或三个以上的峰值位置之间的距离的比率。

4.根据权利要求2所述的接触式位移计，其中，所述多个标识符中的每一个都包括相邻峰值位置之间的距离。

5.根据权利要求3所述的接触式位移计，其中，所述计算单元

计算由所述检测单元检测到的所述多个峰值位置中的至少两个峰值位置之间的距离，

基于所识别的至少一个透光狭缝来识别与所述至少两个峰值位置相对应的至少两个透光狭缝，

计算表示了所计算出的至少两个峰值位置之间的距离与所识别的至少两个透光狭缝之间的距离的关系的值，来作为校正信息，以及

基于计算出的所述校正信息来计算参考位置和与由所述检测单元检测到的至少一个峰值位置相对应的至少一个透光狭缝的位置之间的距离。

6.根据权利要求3所述的接触式位移计，还包括：

第二存储单元，其预先存储有校正信息，该校正信息表示所述光接收单元上的光接收量分布中的多个峰值位置之间的距离和所述标尺上分别与所述多个峰值位置相对应的多个透光狭缝之间的距离的关系，

其中，基于存储在所述第二存储单元中的所述校正信息来计算参考位置和与由所述检测单元检测到的至少一个峰值位置相对应的至少一个透光狭缝的位置之间的距离。

7.根据权利要求2所述的接触式位移计，还包括：

第二存储单元，其预先存储有校正信息，该校正信息表示所述光接收单元上的光接收量分布中的多个峰值位置之间的距离和所述标尺上分别与所述多个峰值位置相对应的多个透光狭缝之间的距离的关系，

其中，所述计算单元基于存储在所述第二存储单元中的所述校正信息，将由所述检测单元检测到的多个峰值位置校正为与多个透光狭缝相对应的多个位置，并且基于校正后的多个位置和存储在所述第一存储单元中的所述多个标识符，来识别与由所述检测单元检测到的至少一个峰值位置相对应的至少一个透光狭缝。