[发明专利]风刀调节装置、风刀式平板清洗设备及风刀调节方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种调节装置，尤其涉及一种有机发光二极管中对用于清洗平板的风刀和平板之间位置进行调节的风刀调节装置、风刀式平板清洗设备及风刀调节方法。

背景技术

OLED(英文全称为：Organic Light-Emitting Diode，中文名称为：有机发光二极管)由于具备轻薄(面板厚度一般小于2毫米)、省电(操作电压一般为3伏至10伏之间)等特性，因此在数码产品的显示屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显示器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术，且是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度。因此，OLED的显示技术是将来的显示技术的发展方向。

有机发光二极管器件的基本结构是：在平板(如玻璃基板)与封装盖板形成的密闭空间内设置有机发光单元，有机发光单元包括阳极、有机发光层及阴极等各层，阳极和阴极在非发光区位置通过引线引出并与驱动芯片进行连接。而在上述的有机发光二极管的制造过程中，平板的清洁度直接影响到有机发光二极管器件的良品率及寿命，因此，对平板进行清洗清洁以去除平板表面的水气、粉尘颗粒等杂质是有机发光二极管制造过程中必不可少的一道工序。其中，粘附于平板表面上的微粒多半来自于环境因素，如人员、机台作业所产生的碎屑或在空气中漂浮的粉尘等等，而微粒粘附于平板表面的成因主要有如下几种：(1)环境中的微粒因其本身的重量而沉积在平板表面；(2)在细小微粒的分子与平板表面的薄膜分子之间存在分子吸引力；(3)平板表面与带有电荷的微粒之间产生的静电吸引力。因此，在有机发光二极管的生产过程中，通常要减少平板暴露在周围环境中的时间以降低平板被微粒粘附的机会，并利用各种清洁洗净方法将微粒予以清除，而清洁洗净方法有利用超音波进行洗涤的湿式清洁及利用喷出洁净空气吹掉基板表面水汽微粒的干式清洁这两大类。其中，由于湿式清洗容易在平板表面产生水气，造成蚀刻区域无法被完全去除而形成残留现象，故在湿式清洗后还需配合具有喷出洁净空气吹掉基板表面水汽微粒的干式清浩，具体对平板清洗的步骤如下：

(1)预湿：使平板表面形成亲水性以达到清洗药剂能均匀分布在平板的表面上。(2)喷洒化学药液、震荡及摇匀：喷洒化学药液，利用超声波震荡，超声波的声子能量刺穿微粒表面的一层微气泡，使微粒浸湿化学药液中，而化学药液扩散至境界面形成溶解作用，之后才能加以起化学作用，而摇匀使得化学药液能完整的涂布在平板表面上。(3)冲洗和震荡：将化学药液冲洗干净，并利用超声波能量，有效的缩短平板表面的边界层，减少阻力，并达到除去微粒的目的。(4)吹干：利用科恩达效应原理，使风刀喷出高压干净的空气，将平板表面附着的水分去除，避免水痕产生，因此，风刀的利用在平板清洁方面占有十分重要的位置。

而现有的风刀与平板之间的距离一般都是不具有可调节的，这使得风刀与平板之间不能维持一个较佳的距离，从而影响到平板清洗的洁净度，进而影响到OLED器件的正常寿命。目前，虽然市场上还出现能对平板与风刀之间距离进行调节的装置，但由于该装置的结构复杂、操作不便及制造成本偏高等因素，从而限制了该装置的使用范围。

因此，急需要一种对风刀与平板之间位置进行精准调节并具有结构简单、操作方便及成本低下的风刀调节装置。

发明内容

本发明的一目的在于提供一种对风刀与平板之间位置进行精准调节并具有结构简单、操作简便及成本低下的风刀调节装置。

本发明的另一目的在于提供一种对风刀与平板之间位置进行精准调节以提高平板的清洁度且具有结构简单、操作简便及成本低下的风刀式平板清洗设备。

本发明的又目的在于提供一种对风刀与平板之间位置进行精准调节并具有操作简便的风刀调节方法。