[发明专利]一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置

权利要求书

1.一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其包括设置在激光调节座(6)上的激光器(5)，设置在四象限调节座(9)上的四象限探测器(8)，以及用于放置探针(1)的探针架(3)，所述激光调节座(6)和所述四象限调节座(9)固定设置，所述激光器(5)发出的入射光(50)照射到所述探针(1)的微悬臂上表面，并经所述微悬臂上表面反射进入所述四象限探测器(8)内，所述激光器(5)产生的激光光斑位于所述探针(1)微悬臂的靠近端部的一侧，其特征在于:所述探针架(3)设置在导轨座(4)上，所述探针架(3)上固定设有定位块(2)，所述定位块(2)上设置有用于放置探针(1)的定位槽(20)。

2.根据权利要求1所述的一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其特征在于：所述导轨座(4)上设置有导轨槽或导轨凸起，所述探针架(3)上设有与所述导轨槽或所述导轨凸起配合的凸起或凹槽，所述探针架(3)通过所述凸起或所述凹槽安装在所述导轨座(4)的所述导轨槽内。

3.根据权利要求2所述的一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其特征在于：所述导轨槽或所述导轨凸起为燕尾槽或燕尾式凸起。

4.根据权利要求2或3所述的一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其特征在于：所述凸起与所述导轨槽底面配合的一侧设有至少一块磁铁。

5.根据权利要求1-4任一所述的一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其特征在于：所述定位块(2)胶接在所述探针架(3)上。

6.根据权利要求1-5任一所述的一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其特征在于：所述定位槽(20)设置在所述定位块(2)的下表面。

7.根据权利要求1-6任一所述的一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其特征在于：所述定位槽(20)内设置有用于调节探针(1)插入深度的滑块(21)。

8.根据权利要求6或7所述的一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其特征在于：所述定位槽(20)处设置有弹片(30)，所述弹片(30)的一端固定在探针架(3)上，所述弹片(30)的自由端弹性抵靠在所述定位块(2)的下表面以将所述探针(1)固定在所述定位槽(20)内。

9.根据权利要求1所述的一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其特征在于：所述激光调节座(6)和所述四象限调节座(9)固定设置在所述导轨座(4)的上端。

10.根据权利要求1所述的一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其特征在于：所述激光调节座(6)和所述四象限调节座(9)固定设置在壳体(10)上。