[发明专利]一种基于NiO敏感电极YSZ基HCs气敏传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种基于NiO敏感电极YSZ基HCs气敏传感器，包括固体电解质(1)、敏感电极(2)和参考电极(3)，其特征在于：

所述固体电解质(1)两侧分别印制有敏感电极(2)和参考电极(3)，所述的固体电解质(1)的厚度为0.5-0.7mm并且排除0.6mm；

所述敏感电极(2)为多孔纳米电极，所述的敏感电极(2)上点涂有Pt浆层(4)，所述敏感电极(2)厚度为20-30μm，所述的敏感电极采用花状纳米形貌的NiO敏感电极材料，NiO敏感电极材料粒径范围为60-120nm以及130-180nm；

所述参考电极(3)为多孔Pt电极，所述的敏感电极(2)和参考电极(3)上均引出电极引线(5)；

所述敏感电极(2)为NiO浆料采用厚膜丝网印刷技术印制成型。

2.一种如权利要求1所述的基于NiO敏感电极YSZ基HCs气敏传感器的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

A采用流延成型技术制成厚度为0.5-0.7mm并且排除0.6mm的YSZ生瓷片，在空气中350℃-400℃排胶20个小时后，放入烧结炉中烧结成型；

B采用水热合成法制取花状纳米形貌的NiO敏感电极材料；

C所述的YSZ固体电解质一侧设置有多孔纳米NiO的敏感电极浆料，敏感电极浆料的制备方法为将B制取的NiO粉末与松油醇浆料在玛瑙研钵中混合并研磨均匀，所述敏感电极厚度20-30μm，其中松油醇浆料由70％松油醇和30％乙基纤维素配制；

D将C所得样品在干燥箱干燥后，在敏感电极上表面点涂Pt浆层，并引出电极引线；

E所述的YSZ固体电解质另一侧设置有多孔Pt的参考电极，并引出电极引线；F将E所得样品干燥后在烧结炉中在900℃-1000℃保持2-3个小时烧结成型。

3.根据权利要求2所述的所述的基于NiO敏感电极YSZ基HCs气敏传感器的制备方法，其特征在于，所述的固体电解质(1)是由流延技术制备的YSZ生瓷片经350℃-400℃排胶20个小时后，放入烧结炉中1200℃-1400℃、2h烧结成型得到。

4.根据权利要求2所述的所述的基于NiO敏感电极YSZ基HCs气敏传感器的制备方法，其特征在于，步骤C所述的敏感电极(2)是由花状纳米形貌NiO电极材料采用厚膜丝网印刷技术印制成型。

5.根据权利要求2所述的所述的基于NiO敏感电极YSZ基HCs气敏传感器的制备方法，其特征在于，步骤E所述的参考电极(3)是由Pt浆料采用厚膜丝网印刷技术印制成型。