[发明专利]一种基于双焦镜的非接触透镜中心厚度测量装置

权利要求书

1. 一种基于双焦镜的非接触透镜中心厚度测量装置，其特征在于包括激光器（1）、1/2波片（2）、扩束准直镜（3）、分光棱镜（4）、双焦透镜（5）、显微物镜（6）、检偏器（7）、聚光镜（8）、CCD（9）；其中：所述激光器（1）、1/2波片（2）、扩束准直镜（3）、分光棱镜（4）、双焦透镜（5）、显微物镜（6）沿光轴从左到右依次排列，所述检偏器（7）、聚光镜（8）、CCD（9）从上到下依次设置在分光棱镜的下方。

2. 根据权利要求1所述的基于双焦镜的非接触透镜中心厚度测量装置，其特征在于：

光源激光器（1）发出偏振光，由1/2波片（2）调整偏振方向，进入扩束准直镜（3），扩束准直镜（3）将激光器（1）发出细激光光束放大至6-10mm准直光束，准直光束进入分光棱镜（4），部分光线通过分光棱镜（4）射入由双折射晶体材料和光学玻璃制成的双焦透镜（5），双焦透镜（5）的双折射材料使e光会聚在e光焦点（51）；o光会聚于无限远，会聚于无限远的平行光通过显微物镜（6）聚焦在显微物镜（6）的焦点，也是被测透镜（10）的前表面（101）；会聚在e光焦点（51） 的e光，成像于相应位置即被测透镜（10）的后表面（102）；照射在被测透镜（10）的前表面（101）和后表面（102）的光束被部分光反射回显微物镜（6），即根据光的可逆原理，反射光通过显微物镜（6）、双焦透镜（5）返回分光棱镜（4），分光棱镜（4）将部分返回光转90度后射向检偏器（7），检偏后的光束透过聚焦镜（8）, 投射到CCD（9）表面，被测量透镜（10）前表面、后表面反射回的激光束在CCD（9）表面的叠加，形成干涉条纹；聚焦镜（8）的位置可以上下调节，用于快速执行粗聚焦和精聚焦；当聚焦镜（8）的位置实现CCD（9）表面和被测量镜片（10）表面物像共轭时，通过光点大小进行粗聚焦；当聚焦镜偏离共轭时，出现条纹，偏离量不同干涉图大小不同；当从园环条纹向直条纹转变时，说明o光和e光准确会聚在被测量透镜的前后表面，否则需要进行聚焦精密调节；1/2波片（2）快轴方向和检偏器（7）的光轴方向决定条纹信号的对比质量。