[发明专利]曝光装置、曝光方法

权利要求书

1.一种曝光装置，通过投影光学系统与液体用能量束使物体曝光，其具备：

分别保持物体的第1、第2移动体；

局部液浸装置，包含在与上述第1、第2移动体对向配置的下面侧具有回收口的嘴单元，通过上述嘴单元将液体供应至上述投影光学系统下，且从通过上述供应的液体而形成于上述投影光学系统下的液浸区域通过上述回收口回收液体；

底盘，其配置上述第1、第2移动体的表面配置成与上述投影光学系统的光轴正交且与包含彼此正交的第1、第2方向的既定平面大致平行；

驱动系统，包含于上述底盘设有定子且于上述第1、第2移动体设有可动子的平面马达，将上述第1、第2移动体分别从通过上述投影光学系统与上述液浸区域的液体进行上述物体的曝光的曝光位置与进行分别保持于上述第1、第2移动体的物体的更换的更换位置的一方移动至另一方，上述更换位置在上述第1方向与上述曝光位置不同；

测量系统，测量上述第1、第2移动体的位置信息；以及

控制装置，根据以上述测量系统测量的位置信息控制上述平面马达对上述第1、第2移动体的驱动，以对与上述投影光学系统对向配置的上述第1、第2移动体中的一方使上述第1、第2移动体中的另一方接近的方式相对移动，且使已接近的上述第1、第2移动体相对上述嘴单元移动以取代上述一方移动体而成为上述另一方移动体与上述投影光学系统对向配置；

通过已接近的上述第1、第2移动体相对上述嘴单元的移动，上述液浸区域一边被维持于上述投影光学系统下、一边从上述一方移动体移动至另一方移动体；

上述第1移动体在上述第2方向从一侧被连接缆线，且上述第2移动体在上述第2方向从另一侧被连接缆线；

上述控制装置，控制上述平面马达对上述第1、第2移动体的驱动，以使上述第1移动体与上述第2移动体通过彼此不同的返回路径从上述曝光位置移动至上述更换位置；

上述第1移动体通过相对上述曝光位置位于上述第2方向的一侧的返回路径，上述第2移动体通过相对上述曝光位置位于上述第2方向的另一侧的返回路径。

2.如权利要求1所述的曝光装置，其中，上述第1、第2移动体，通过上述相对移动，在已接近的上述第1、第2移动体相对上述嘴单元移动的既定方向彼此接近，且在与上述既定方向正交的方向偏离配置。

3.如权利要求2所述的曝光装置，其中，已接近的上述第1、第2移动体，配置成在与上述投影光学系统对向配置的上述第1移动体对上述第2移动体的置换时、以及与上述投影光学系统对向配置的上述第2移动体对上述第1移动体的置换时，位置关系在与上述既定方向正交的方向是不同的。

4.如权利要求3所述的曝光装置，其中，已接近的上述第1、第2移动体，配置成在上述第1移动体对上述第2移动体的置换时、以及上述第2移动体对上述第1移动体的置换时，在与上述既定方向正交的方向偏离配置成逆向。

5.如权利要求4所述的曝光装置，其中，在上述第2移动体对上述第1移动体的置换中，上述第1移动体相对上述第2移动体于与上述既定方向正交的方向往一侧偏离配置；

在上述第1移动体对上述第2移动体的置换中，上述第2移动体相对上述第1移动体于与上述既定方向正交的方向往另一侧偏离配置。

6.如权利要求4所述的曝光装置，其中，已接近的上述第1、第2移动体，配置成在上述第1移动体对上述第2移动体的置换时、以及上述第2移动体对上述第1移动体的置换时，位置关系在上述既定方向为相反。

7.如权利要求6所述的曝光装置，其中，已接近的上述第1、第2移动体，在上述第1移动体对上述第2移动体的置换时、以及上述第2移动体对上述第1移动体的置换时，相对上述嘴单元在上述既定方向移动于相同方向。

8.如权利要求4所述的曝光装置，其中，已接近的上述第1、第2移动体，一边维持在上述既定方向的位置关系、一边相对上述嘴单元移动。

9.如权利要求1至8中任一项所述的曝光装置，其中，上述嘴单元设置成包围与上述液体接触的上述投影光学系统的光学组件；

上述测量系统，具有分别设于上述第1、第2移动体的多个读头，通过上述第1移动体或上述第2移动体的上述多个读头，分别对于上述嘴单元周围配置成与上述既定平面实质平行且具有二维光栅的多个标尺照射测量光束，以测量在上述投影光学系统下方移动的上述第1移动体或上述第2移动体的位置信息。