[发明专利]射束监视系统以及粒子束照射系统

权利要求书

1.一种射束监视系统，其特征在于，具备：

对通过的带电粒子束进行检测的收集电极，其具有多个将相邻的多个电极丝作为一个组的上述组，该组被分割为由相邻的多个上述电极丝构成的分区，属于某分区的各个上述电极丝与属于其他组的分区的任意一个上述电极丝分别通过同一布线以在每个组中不同的方式置换地连接，使得至少2个通道在物理上不连续；

信号处理装置，其根据与计划的射束照射目标位置信息相关联的信息和上述置换连接的信息，对从上述电极丝输出的检测信号进行排序并作为处理信号来输出；以及

射束监视控制装置，其根据从上述信号处理装置输出的处理信号，计算通过了上述电极丝的带电粒子束的射束位置和射束宽度。

2.根据权利要求1所述的射束监视系统，其特征在于，

上述射束监视控制装置判定根据来自上述信号处理装置的处理信号求出的射束分布的拟合函数和实测值之间的每个通道的偏差是否是允许值以下，在判定为上述偏差是允许值以下时判断为适当的照射，在上述偏差比允许值大时判断为不适当的照射，输出警告用信号。

3.根据权利要求2所述的射束监视系统，其特征在于，

作为根据来自上述信号处理装置的处理信号求出的射束分布的拟合函数和实测值之间的每个通道的偏差，上述射束监视控制装置计算差值、或差值的和、或差值的平方和的方差值的至少任意一个。

4.一种射束监视系统，其特征在于，具备：

对通过的带电粒子束进行检测的收集电极，其具有多个将相邻的多个电极丝作为一个组的上述组，该组被分割为由相邻的多个上述电极丝构成的分区，属于某分区的各个上述电极丝与属于其他组的分区的任意一个上述电极丝分别通过同一布线以在每个组中不同的方式置换地连接；

射束监视控制装置，其作为接受从该收集电极的上述电极丝输出的检测信号来进行信号处理的信号处理装置，根据从上述电极丝输出的检测信号，实施对针对全部射束位置可取的分区的组合的全部排序，将对各个分区的组合的差值、差值和、或差值的平方和的方差值的至少任意一个的计算结果为允许值以下并且最小的情况判断为实际照射位置，计算通过了上述电极丝的带电粒子束的射束位置和射束宽度。

5.一种粒子束照射系统，其特征在于，

具备权利要求1所述的射束监视系统。

6.一种粒子束照射系统，其特征在于，

具备权利要求2所述的射束监视系统。

7.一种粒子束照射系统，其特征在于，

具备权利要求3所述的射束监视系统。

8.一种粒子束照射系统，其特征在于，

具备权利要求4所述的射束监视系统。