[发明专利]发光基板的制造方法和曝光装置的制造方法

说明书

本发明提供发光基板的制造方法和曝光装置的制造方法。发光基板的制造方法包含如下工序：准备基板组，在该基板组中，多个长条形基板沿短边方向排列，相邻的该基板利用长边方向上的多处联结部进行联结，在从短边方向观察时，具有每单位长度中的该联结部的长度较长的第1部位和较短的第2部位；在作为该第1部位的该基板的表面上安装部件；在该基板的背面上安装发光元件；以及将所述多处联结部切断。

技术领域

本发明涉及发光基板的制造方法和曝光装置的制造方法。

背景技术

在日本国特开2012-19151号公报中，公开了如下结构：设置在第2金属层68的全图案102上的分割部110和设置在第3金属层74的全图案104上的分割部112不重合地进行配置，来吸收因线膨胀系数的不同而产生的变形量的差。

发明内容

本发明的目的在于抑制构成发光基板的长条形基板产生较大的局部扭曲。

根据本发明的第1方案，提供一种发光基板的制造方法，在该发光基板的制造方法中，包含如下工序：准备基板组，在该基板组中，多个长条形基板沿短边方向排列，相邻的该基板利用长边方向上的多处联结部进行联结，在从短边方向观察时，具有每单位长度中的该联结部的长度较长的第1部位和较短的第2部位；在作为该第1部位的该基板的表面上安装部件；在该基板的背面上安装发光元件；以及将所述多处联结部切断。

根据本发明的第2方案，在所述发光基板的制造方法中，在准备所述基板组的工序中，准备出具有每单位长度中的所述联结部的数量比所述第2部位多的所述第1部位的基板组。

根据本发明的第3方案，在所述发光基板的制造方法中，在准备所述基板组的工序中，准备出在所述联结部具有金属层的所述基板组。

根据本发明的第4方案，在所述发光基板的制造方法中，在准备所述基板组的工序中，准备出在所述联结部的表面具有金属层和抗蚀剂层和所述基板组，在安装所述发光元件的工序中，在利用夹持部从所述基板的两个面夹持所述基板和所述联结部的同时，进行安装。

根据本发明的第5方案，在所述发光基板的制造方法中，在安装所述发光元件的工序中，在利用具有凸部的夹持部从所述基板的两个面夹持所述基板和所述联结部的同时，进行安装。

根据本发明的第6方案，在所述发光基板的制造方法中，在准备所述基板组的工序中，准备出如下的基板组：该基板组具有每单位长度中的所述联结部比所述第2部位的所述联结部长且薄的所述第1部位。

根据本发明的第7方案，在曝光装置的制造方法中，包含如下工序：利用上述发光基板的制造方法来制造发光基板；以及将光学元件与在制造发光基板的工序中制造出的所述发光基板固定于壳体，使得所述发光基板与所述光学元件相对，其中，所述光学元件使从该发光基板的所述发光元件射出的光成像。

(发明效果)

根据所述第1方案，在长条形基板中，与在作为每单位长度中的联结部的长度比第1部位短的第2部位的部分的表面处安装部件的情况相比，能够抑制构成发光基板的长条形基板产生较大的局部扭曲。

根据所述第2方案，在长条形基板中，与在作为每单位长度中的联结部的数量比第1部位少的第2部位的部分的表面处安装部件的情况相比，能够抑制构成发光基板的长条形基板产生较大的局部扭曲。

根据所述第3方案，与准备在联结部不具有金属层的基板组的情况相比，能够抑制构成发光基板的长条形基板产生较大的局部扭曲。

根据所述第4方案，与在不从基板的两个面夹持基板和联结部的状态下安装发光基板的情况相比，能够抑制构成发光基板的长条形基板产生较大的局部扭曲。

根据所述第5方案，与在不从基板的两个面夹持基板和联结部的状态下安装发光基板的情况相比，能够抑制构成发光基板的长条形基板产生较大的局部扭曲。