[发明专利]一种失效分析样品的制备方法在审
| 申请号： | 201410375174.6 | 申请日： | 2014-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN104215482A | 公开（公告）日： | 2014-12-17 |
| 发明（设计）人： | 白月 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 失效 分析 样品 制备 方法 | ||
1.一种失效分析样品的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤S1、提供一待分析样品，所述待分析样品的一截面设置有集成电路，所述集成电路中设有一凹槽，且该集成电路除凹槽以外部分表面覆盖有一保护层；
步骤S2、利用一填充材料将所述凹槽完全填充并将该凹槽所在截面完全覆盖；
步骤S3、对所述待分析样品进行研磨，并对所述集成电路进行观测和分析。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S2包括如下步骤：
步骤S2a、提供一基板，对所述基板进行加热后，在所述基板上表面点涂一层填充材料并使其完全融化；
步骤S2b、利用融化后的填充材料所述凹槽完全填充并将该凹槽所在截面完全覆盖；
步骤S2c、将所述待分析样品置于一冷却台上，以使所述待分析样品位于所述凹槽内以及凹槽所在截面的填充材料冷却凝固。
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基板为玻璃材质的载玻片。
4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述填充材料为可塑性材料。
5.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述填充材料为热熔胶。
6.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述填充材料为透明材料。
7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤S3中，利用扫描电子显微镜对所述待分析样品截面进行观测；
当观测到所述集成电路具有缺陷时，继续对该缺陷做聚焦离子束截面分析。
8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，对所述待分析样品进行手动研磨以去除所述保护层，使所述集成电路满足所述扫描电子显微镜观测需求。
9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述保护层为二氧化硅介电层和金属互连层。
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