[发明专利]靶材加工设备以及加工方法

权利要求书

1.一种靶材加工设备，用于在靶材表面形成密封槽，其特征在于，包括：

铣切设备，用于铣切靶材表面以形成所述密封槽；

所述铣切设备包括具有回转中心轴的铣刀，所述铣刀能够绕所述回转中心轴自转，并沿预设轨迹移动；

所述铣刀包括体部以及设于所述体部一端用于铣切靶材的铣切部；

所述靶材表面具有作为所述铣刀入刀和退刀的排气槽，所述排气槽的深度小于所述密封槽的深度。

2.如权利要求1所述的靶材加工设备，其特征在于，所述铣切部的横截面呈上小下大的梯形；所述密封槽为燕尾槽形状的密封槽。

3.如权利要求1所述的靶材加工设备，其特征在于，所述铣切部呈圆柱形，铣切部的侧面开设有凹槽，用于排出铣切碎屑。

4.如权利要求1所述的靶材加工设备，其特征在于，所述铣切部包括沿所述回转中心轴均布的若干片刀刃。

5.如权利要求4所述的靶材加工设备，其特征在于，所述铣切部包括4片刀刃，所述刀刃之间的夹角为90度。

6.如权利要求1所述的靶材加工设备，其特征在于，所述铣刀的材料为钨钢或者白钢。

7.一种靶材的加工方法，用于在靶材表面形成密封槽，其特征在于，包括：提供待加工靶材，在所述待加工靶材表面形成若干排气槽；

提供铣切设备；

通过所述铣切设备铣切所述靶材表面以形成密封槽，以所述排气槽作为所述铣切设备的铣刀的入刀点，在形成所述密封槽后，以所述排气槽作为所述铣刀的退刀点，所述排气槽的深度小于所述密封槽的深度。

8.如权利要求7所述的加工方法，其特征在于，提供铣切设备的步骤包括：使所述铣切设备包括具有回转中心轴的铣刀，所述铣刀包括体部以及设于体部端部的铣切部，所述铣切部的截面呈梯形；

通过所述铣切设备铣切所述靶材表面以形成密封槽的步骤包括：形成燕尾槽形状的密封槽。

9.如权利要求7所述的加工方法，其特征在于，通过所述铣切设备铣切所述靶材表面以形成密封槽的步骤包括：在所述待加工靶材表面形成三角形轨迹形状密封槽。