[发明专利]靶材加工装置以及加工方法

权利要求书

1.一种靶材加工装置，其特征在于，靶材包括一加工面以及相对于加工面的背面，所述靶材背面上开设有若干定位孔，所述靶材加工装置包括：

夹具；

装夹于夹具内的压板，所述压板包括与靶材的背面相配合的第一面，以及与所述第一面相对的第二面，所述第二面开设有贯穿所述压板的固定孔，所述固定孔与至少一部分所述定位孔的位置相对应；

固定件，安置于所述压板的第二面，用于通过所述固定孔和与所述固定孔相对应的定位孔将所述靶材固定于所述压板上。

2.如权利要求1所述的靶材加工装置，其特征在于，所述压板的第一面设有若干用于放置于部分所述定位孔中以固定所述靶材的定位销，其中，与所述定位销位置相对应的定位孔为第一定位孔，与所述固定孔位置相对应的定位孔为第二定位孔。

3.如权利要求2所述的靶材加工装置，其特征在于，所述第一定位孔设于所述靶材的边缘。

4.如权利要求2所述的靶材加工装置，其特征在于，所述靶材为三角形靶材，所述三角形靶材的角为圆角；所述第一定位孔设于所述三角形靶材的三个顶角。

5.如权利要求2所述的靶材加工装置，其特征在于，所述位于第一定位孔中的定位销以及位于固定孔和第二定位孔中的固定件不超出所述靶材的加工面。

6.如权利要求1所述的靶材加工装置，其特征在于，所述压板为矩形压板。

7.如权利要求1所述的靶材加工装置，其特征在于，所述固定孔为沉孔。

8.如权利要求1所述的靶材加工装置，其特征在于，所述固定件为螺栓、铆钉或者固定插销。

9.一种靶材加工方法，其特征在于，所述靶材包括一加工面以及相对于加工面的背面，所述靶材背面上开设有若干孔，所述靶材加工方法包括：

提供压板，定义压板与靶材相配合的面为第一面，与所述第一面相对的一面为第二面；

在所述压板的第二面开设固定孔，使所述固定孔的位置与所述靶材的至少一部分孔的位置相对应；

采用固定件通过所述固定孔和与所述固定孔相对应的定位孔将所述靶材固定于所述压板；

对固定于压板上的靶材进行加工。

10.如权利要求9所述的靶材加工方法，其特征在于，

提供压板的步骤还包括：在所述第一面设置若干定位销；

将所述靶材固定于所述压板时，使所述定位销位于靶材中与所述定位销位置相对应的孔内。