[发明专利]真空卡盘

权利要求书

1.一种真空卡盘，其特征在于，包括：

中空电机，该中空电机具有中空轴，该中空轴的一端由中空电机的端面伸出；

密封圈固定环，所述密封圈固定环与所述中空电机的端面固定，所述密封圈固定环具有第一孔洞，该中空轴的一端伸入所述第一孔洞，所述中空轴的外侧壁与所述第一孔洞的侧壁之间具有空隙；

密封圈，所述密封圈固定在所述第一孔洞的侧壁上，所述密封圈与所述中空轴的外侧壁接触。

2.根据权利要求1所述的真空卡盘，其特征在于，还包括：

密封圈压板，所述密封圈压板具有第二孔洞，所述密封圈压板固定在所述密封圈固定环上，所述第二孔洞与第一孔洞连通。

3.根据权利要求2所述的真空卡盘，其特征在于，还包括：

O型圈，设置在所述密封圈压板和密封圈固定环的接触界面上，以使所述第二孔洞和第一孔洞形成密封式连通。

4.根据权利要求2所述的真空卡盘，其特征在于，还包括：

抽气接头，密封连接在所述第二孔洞内，用于通过所述第二孔洞和第一孔洞对所述中空轴抽气。

5.根据权利要求2所述的真空卡盘，其特征在于，所述第一孔洞靠近所述密封圈压板处的孔径大于远离所述密封圈压板处的孔径，从而使得所述第一孔洞的侧壁具有台阶，所述密封圈固定在所述台阶上。

6.根据权利要求5所述的真空卡盘，其特征在于，所述密封圈压板具有向外延伸的管状突出部，所述管状突出部包括管壁以及管壁包围的空腔，所述空腔与所述第二孔洞连通，所述管壁伸入所述第一孔洞并将所述密封圈抵压在所述台阶上。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的真空卡盘，其特征在于，还包括：固持盘，该固持盘与所述中空轴的另一端固定连接。