[发明专利]光学式编码器用遮光板、其制造方法及使用其的光学式编码器

说明书

技术领域

本发明涉及光学式编码器，尤其是转动或滑动移动的光学式编码器用遮光板、其制造方法及使用其的光学式编码器。

背景技术

目前，作为光学式编码器用遮光板，例如如图4所示，有距转动轴2的轴心在同一半径上形成了贯通孔3的光学式编码器用遮光板1。而且，通过上述贯通孔3的光源4的光由受光元件5检测，由此，上述转动轴2的转动角度作为输出信号向控制设备等输出。

作为上述光学式编码器用遮光板的制造方法，例如，有如下的光学式旋转编码器的狭缝板的制造方法，其特征在于，包括：在狭缝板用的金属基材的两面形成由不同的金属原材料构成的金属薄膜的薄膜形成工序、对上述金属薄膜及上述金属基材实施蚀刻加工形成狭缝的蚀刻工序，选择这些金属薄膜及金属基材的材质，以使上述金属薄膜的蚀刻速度比上述金属基材的蚀刻速度慢(参照专利文献1)。

专利文献1：(日本)特开2004－125734号公报

但是，上述的光学式旋转编码器的狭缝板的制造方法为以在金属基材的表背面上形成金属薄膜的3层构造的基材为前提的制造方法，因此，制造工序多，生产率低。

另外，由于通过蚀刻加工形成狭缝，因此，为了形成尺寸精度高的狭缝，需要进行严格的时间管理，制造费工时。尤其是，在通过蚀刻加工而形成狭缝时，开口缘部容易成为R面，容易产生光的漫反射，因此，存在难以获得高的测定精度的问题。

发明内容

鉴于上述问题点，本发明的光学式编码器用遮光板作为课题提供一种容易制造且生产率及测定精度高的光学式编码器用遮光板。

为解决所述课题，本发明的光学式编码器用遮光板构成为，在多个并设的架桥部之间具有狭缝，使光从所述狭缝入射，其中，在导电性原盘主体的露出面上并设多个空腔后，将所述导电性原盘主体浸渍在电解液中并施加电压，将所述空腔内的所述导电性原盘主体的露出面上电沉积的金属层中的、所述导电性原盘主体的露出面侧的原盘面配置于光入射方向侧。

根据本发明，在导电性原盘的露出面使金属直接电沉积而形成光学式编码器用遮光板，因此，可获得制造工序少，生产率高的光学式编码器用遮光板。

另外，由于可调整电压施加时间并调整所述架桥部的高度，因此，容易进行时间管理，制造比较容易。尤其是，由于不用蚀刻加工形成狭缝，因此，开口缘部难以成为R面，能够抑制光的漫反射，因此，可获得测定精度高的光学式编码器用遮光板。

作为本发明的实施方式，也可以为，所述架桥部与相邻的其它架桥部的对向面沿着从所述导电性原盘主体的露出面朝向所述空腔的开口部的方向扩展的方向倾斜。

根据本实施方式，从狭缝的宽度变窄的开口部入射的光不会向对向的内侧面漫反射而射出，因此，干扰减少，测定精度提高。

作为本发明的其它的实施方式，也可以是，所述倾斜面相对于所述电压的施加方向的倾斜角度为大于零度且不超过30度的范围。

当为零度以下时，入射光可能在架桥部15的内侧面引起漫反射，当超过30度时，架桥部15不能保持必要的宽度尺寸，相邻的狭缝16可能连结。

作为本发明的不同的实施方式，也可以为，将设于所述导电性原盘主体的露出面的梨皮形状(皱纹形状)转印到所述架桥部的单面。

根据本实施方式，可防止所述梨皮形状使光反射而成为干扰，可以改善测定精度。

作为本发明的新的实施方式，所述光学式编码器用遮光板也可以是旋转编码器用遮光板、或线性编码器用遮光板。

根据本实施方式，可根据需要适当选择，因此，可获得能够在各种各样的用途中适用的编码器用遮光板。

为解决所述课题，本发明提供光学式编码器用遮光板的制造方法为在多个并设的架桥部间形成狭缝的光学式编码器用遮光板的制造方法，其工序为，在导电性原盘主体的露出面并设了多个空腔后，将所述导电性原盘主体浸渍于电解液中并施加电压，在所述空腔内的所述导电性原盘主体的露出面上使金属电沉积，形成所述架桥部。

根据本发明，由于在导电性原盘的表面使金属直接电沉积而形成光学式编码器用遮光板，因此，可获得制造工序少、生产率高的光学式编码器用遮光板。

另外，由于能够与电压施加时间成比例地使金属电沉积，因此，容易进行时间管理，制造比较容易。尤其是，由于不用蚀刻加工而形成狭缝，因此，开口缘部难以成为R面，能够抑制光的漫反射，因此，可获得测定精度高的光学式编码器用遮光板。

本发明的光学式编码器也可以制成具有上述的光学式编码器用遮光板的构成。