[发明专利]一种用于硅料处理的酸碱浸泡机无效
申请号: | 201410361529.6 | 申请日: | 2014-07-25 |
公开(公告)号: | CN104259129A | 公开(公告)日: | 2015-01-07 |
发明(设计)人: | 陈文彬;王禄宝 | 申请(专利权)人: | 江苏美科硅能源有限公司 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;B08B15/00 |
代理公司: | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人: | 季萍 |
地址: | 212200 江苏省镇*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 处理 酸碱 浸泡 | ||
技术领域
本发明涉及属于太阳能光伏技术领域,具体涉及一种用于硅料处理的酸碱浸泡机。
背景技术
在硅片加工过程中,需要对硅料进行酸或碱浸泡处理,传统浸泡方法中,硅料酸碱浸泡需要分开处理,致使处理设备成本高,且占地面积较大,同时,在浸泡的过程中产生的废气会对操作人员的健康造成危害。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种用于硅料处理的酸碱浸泡机,简化硅料浸泡程序,降低成本,降低对操作人员危害。
为解决上述技术问题,本发明的技术方案是:
一种用于硅料处理的酸碱浸泡机,包括操作台,所述操作台上设有罩壳,所述罩壳包括一个顶板,一个背板和两个侧板,所述操作台的三边上依次竖直的设有一个侧板,一个背板和一个侧板,所述顶板水平的固定在所述背板和侧板的顶端,所述操作台向内凹槽形成第一凹槽和第二凹槽,所述背板上均匀设有若干个第一吸风器,所述第一吸风器的吸气端位于所述罩壳与操作台所形成的第一空腔内,所述第一吸风器的出气端设有第一废气收集罩,所述顶板上设有一个第二吸风器,所述第二吸风器位于所述第一凹槽的正上方,所述背板内设有第二空腔形成第二废气收集罩,所述第二吸风器的吸气端位于所述罩壳与操作台所形成的空腔内,所述第二吸风器的出气端与第二废气收集罩相连通,所述第一废气收集罩与第二废气收集罩通过管道相连通,所述顶板的外侧边上设有指示灯和PLC控制器,所述指示灯,第一吸风器,顶 二吸风器与PLC控制器相连接。
上述一种用于硅料处理的酸碱浸泡机,其中,所述操作台的高度为80—100cm。
上述一种用于硅料处理的酸碱浸泡机,其中,所述顶板的长度>所述操作台的长度。
本发明使用时,在第一凹槽内加入酸洗液或者碱洗液,打开PLC控制器,控制第一吸风器,第二吸风器进行吸风,可以将第一凹槽内的酸液或碱液挥发出的气体吸入第一废气收集罩与第二废气收集罩中,在废气刚产生时就及时进行处理,与空气形成对流避免废气泄露出来,在第二凹槽内加入纯净水,将需要进行酸洗或者碱洗的硅料放置于专用的浸泡篮中,将浸泡篮浸没于第一凹槽内,达到事先设定的酸洗或碱洗所需的时间后,PLC控制器控制指示灯打开,此时,操作人员可以将浸泡篮自第一凹槽中取出,在浸没至第二凹槽的纯净水内即可,大大简化了硅料浸泡程序,从而进一步降低成本,降低对操作人员危害,指示灯提示操作人员浸泡完毕,操作人员将浸泡篮放入第二凹槽中,稀释酸洗液或者碱洗液,大大减少了前往下道工序的运输过程中对操作人员的伤害,安全可靠。
附图说明
图1为本发明正视图
图2为本发明侧视图
图3为本发明后视图
具体实施方式
如图所示一种用于硅料处理的酸碱浸泡机,包括操作台1,所述操作台1的高度H为80—100cm,所述操作台1上设有罩壳2,所述罩壳2包括一个顶 板3,一个背板4和两个侧板5,所述操作台1的三边上依次竖直的设有一个侧板5,一个背板4和一个侧板5,所述顶板3水平的固定在所述背板4和侧板5的顶端,所述顶板3的长度>所述操作台1的长度,所述操作台1向内凹槽形成第一凹槽6和第二凹槽7,所述背板4上均匀设有若干个第一吸风器8,所述第一吸风器8的吸气端81位于所述罩壳2与操作台1所形成的空腔9内,所述第一吸风器8的出气端82设有第一废气收集罩10,所述顶板3上设有一个第二吸风器11,所述第二吸风器11位于所述第一凹槽6的正上方,所述背板4内设有第二空腔作为第二废气收集罩12,所述第二吸风器的吸气端111位于所述罩壳与操作台所形成的空腔9内,所述第二吸风器的出气端112与第二废气收集罩12相连通,所述第一废气收集罩10与第二废气收集罩12通过管道15相连通,所述第一废气收集罩上设有出气口16,出气口与出气管道相连接,将酸洗/碱洗过程中产生的废气通过出气管道送往废气、废水处理中心进行处理,所述顶板3的外侧边上设有一个指示灯13和一个PLC控制器相连接14,所述指示灯13,第一吸风器8,第二吸风器11与PLC控制器相连接14。
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