[发明专利]LCD制造工程设备中热风炉的废热回收装置在审
| 申请号: | 201410355565.1 | 申请日: | 2014-07-25 |
| 公开(公告)号: | CN104613640A | 公开(公告)日: | 2015-05-13 |
| 发明(设计)人: | 都钟焕 | 申请(专利权)人: | 北京利亿德电子设备有限公司 |
| 主分类号: | F24H3/00 | 分类号: | F24H3/00;F24H9/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 102600 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | lcd 制造 工程 设备 热风炉 回收 装置 | ||
技术领域
本发明属于废热回收装置,具体的涉及一种有效节约能源的用于LCD制造工程设备中热风炉的废热回收装置。
背景技术
热风炉广泛应用于诸多领域,传统式热风炉大体包括炉膛、炉体和炉座炉体的四周包有空气夹层,空气夹层内设有引风口和出风口,然而这种传统式热风炉的热风炉热烟加热完空气之后直接通过烟筒排入大气,排出的烟气带走了大量的热量,加热作用差,热传递效果差,浪费了大量的能源。
以往的热风炉是将炉体内部工作组整体温度维持在110~230℃的特定温度,为了连续工作需要持续更换工作组内部~30%的体积来完成工程。也就是说要维持~30%的空气持续排除/吸收的结构。新吸收进的空气会影响灶(OVEN)内工作组温度,而达到工程温度需20~30分钟的等待时间。
这种传统的热风炉由于是通过炉膛内燃料燃烧产生的高温对空气夹层内的冷风进行热传导因而达到冷风加热目的,但由于这种传统式结构换热效率偏低,因此燃料消耗偏高,故需要加以改进。
发明内容
本发明提供了一种能够有效节约能源,结构简单,安装方便的LCD制造工程设备中热风炉的废热回收装置。
本发明所采用的技术方案如下:
一种LCD制造工程设备中热风炉的废热回收装置,其中,该热风炉包含有炉体,该炉体内安装有加热装置,该炉体上分别设置有连通炉体内部的进气管路和排气管路,该排气管路设置有排气扇,其中:所述排气管路安装有废热回收装置,该废热回收装置包含一壳体,该壳体内设置有换热器,该换热器为两组翅片管换热管,该两组翅片管换热管固定成一体;
其中一组翅片管换热管连通排气管路,另一组翅片管换热管通过空气通道连通进气管路。
所述的废热回收装置设置有废燃气排出冷却装置。
所述的废热回收装置设置有空气净化设施。
该装置的工作原理为:通过热风炉内排出的废热气体通过翅片管换热管对新进入的空气进行加热,通过空气通道进入热风炉内,来完成热风炉的工作。
本装置安装于热风炉体废燃气释放部位,将废燃气排放于回收通道,等温度下降后,可将废燃气进行安全的空气净化过程。为了废燃气净化装置正常运作,引入净化装置的废燃气有必要维持特定温度(~80℃以下)。而本装置对于引入净化装置的废燃气的降温有附加的效果。
本发明的有益效果在于,用于LCD工程的热风炉,是吸收~24度左右的空气,并升温至工程所需~230度的装置。为此需消耗~150KWH左右的电力,连续作业需消耗大量电力。本装置致力于回收相当于~50KWH的电力,将此安装至热风炉,可节省相当于全部耗电量有~30%。
下面结合附图和具体实施方式对本发明做进一步的阐述。
附图说明
图1是本发明具体实施方式1中废热回收装置的安装结构示意图;
图2是本发明具体实施方式1废热回收装置的结构示意图;
图3为本发明具体实施方式2中废热回收装置的安装结构示意图。
具体实施方式
LCD制造工程中使用的热风炉排出的废气主要成份是,以丙二醇甲醚乙酸酯为代表的LCD工程中使用的光刻胶或作为聚合物复合体主成份的树脂类和稀释剂等挥发成份。这种热风灶为抑制在连续工作或因灶体内部附着挥发成份引起工程不良,在一定部分、全部体积~30%、排除和吸收相同体积、及通过连续加热工程完成LCD的制造工程。这时回收排除的大量废燃气中所含的热,给新吸收进来的空气加热,减少热风灶的耗电量,提高炉内温度均衡性,缩短吸收进来的常温空气升温至工程温度110~250℃的等待时间。
具体实施方式1如图1、图2所示;
该LCD制造工程设备中热风炉的废热回收装置,其中,该热风炉包含有炉体1,该炉体1内安装有加热装置4,该炉体1上分别设置有连通炉体内部的进气管路2和排气管路7,该排气管路7设置有排气扇6,其中:该排气管路7上排气扇6与炉体1之间安装有废热回收装置5,该废热回收装置5包含一壳体,该壳体内设置有换热器8,该换热器8为两组翅片管换热管,该两组翅片管换热管固定成一体;
其中一组翅片管换热管连通排气管路7,另一组翅片管换热管通过空气通道3连通进气管路2。
其中,新鲜空气进气口9进入的空气通过预热空气排出口10与空气通道3连通。
该设备在工作工程中,热风炉内排出的废气通过排气管路7时,对换热器8进行加热,加热后的换热器8对新鲜空气进气口9进入的空气进行预热,使得预热空气排出口10排出的空气为受热后的热空气,该热空气进入热风炉工作时即减少了加热时间,也节约了能源。
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