[发明专利]线放电加工装置、其控制方法和程序

说明书

技术领域

本发明涉及一种线放电加工装置及其控制方法和程序的技术。

背景技术

以前，作为用于将硅锭切片为许多薄片的装置已知有钢丝锯，但今年存在使用线放电加工技术将工件切片为薄板的技术。

例如，在专利文献1中，公开了以下的技术，即通过对与收线卷轴相邻地配置的摄像机摄影的图像进行分析，检测线丝的至少一个物理状态的变化。

例如，在专利文献2中，公开了以下的技术，即在线切割放电加工装置中，具备将行走移动的电极丝和通电元件之间的接触部形成为遮光状态的暗室、对在接触部产生的放电光进行受光而变换为电信号的光电元件、与电信号对应地输出操作输出的单元、根据操作输出而工作的工作体，由此能够确实地检测放电光的产生。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-94959号公报

专利文献2：日本特开平8-336728号公报

发明内容

但是，专利文献1公开的技术并不监视加工槽的均匀性。

另外，在如专利文献2公开的技术那样通过放电光进行检测的情况下，不了解放电加工向哪个方向进展，不监视加工槽的均匀性。

本发明的目的在于能够提供以下结构：在用排列设置的线丝对工件进行放电加工的情况下，存在由于针对每个排列设置的线丝与工件 的放电状态分别变化而对于每个线丝来说工件的加工槽的加工进度变化的情况，在这样加工进度变化的情况下进行恰当的控制。

本发明是一种线放电加工装置，其按照排列设置的线丝的间隔对工件进行切片，其特征在于，具备：图像取得单元，通过监视放电加工的状况的摄像机进行摄影，取得包含通过排列设置的线丝进行了放电加工的多个位置的加工槽的工件的图像；判断单元，根据包含在上述取得的图像中的多个位置的加工槽的排列方式，判断放电加工是否按照上述排列设置的线丝的间隔进展；以及动作控制单元，在由上述判断单元判断为未进行上述进展的情况下，进行控制以便停止或抑制与由上述判断单元判断为进行上述进展的情况下的放电加工的进展相关联的动作。

另外，其特征在于，还具备：波形强度生成单元，根据上述取得的工件的图像，按照分别与上述多个位置的加工槽的每个加工槽的加工状况相当的波形强度来生成脉冲波形，分析基于上述加工状况的进度的强度差；以及加工延迟检测单元，根据上述分析出的强度差，检测包含在上述取得的图像中的多个位置的加工槽的排列方式在工件移动的方向上是否均匀，上述判断单元使用由上述加工延迟检测单元产生的结果进行判断。

另外，其特征在于，还具备：波形间隔生成单元，根据上述取得的工件的图像，按照分别与上述多个位置的加工槽的每个加工槽的加工状况相当的波形间隔来生成脉冲波形，分析基于上述加工状况的进度的间隔差；以及加工抖动检测单元，根据上述分析出的间隔差，检测包含在上述取得的图像中的多个位置的加工槽的排列方式在工件振动的方向上是否均匀，上述判断单元使用由上述加工抖动检测单元产生的结果进行判断。

另外，其特征在于：由上述图像取得单元取得在上述判断单元判断为放电加工未按照排列设置的线丝的间隔进展后经过了规定时间后的上述工件的图像，该线放电加工装置还包括：再分析单元，使用经过了上述规定时间后取得的图像，再次分析放电加工是否按照上述排列设置的线丝的间隔进展；以及恢复判断单元，根据上述再次分析的结果，判断由于放电加工未按照线丝的间隔进展而造成的加工不良 是否恢复，在上述恢复判断单元判断为恢复的情况下，使与由上述动作控制单元控制为停止或抑制的放电加工的进展相关联的动作复原为正常。

另外，其特征在于：对用于上述恢复判断单元判断由于放电加工未按照线丝的间隔进展而造成的加工不良是否恢复的多个不同的加工不良水平进行管理，与上述不同的加工不良水平对应地切换上述动作控制单元将与放电加工的进展相关联的动作控制为停止或抑制的控制种类。

另外，其特征在于：在上述恢复判断单元判断为未恢复的情况下，将与由上述动作控制单元控制为停止或抑制的放电加工的进展相关联的动作切换为不同的控制种类。

根据本发明能够提供一种结构，即在用排列设置的线丝对工件进行放电加工的情况下，存在由于针对每个排列设置的线丝与工件的放电状态分别变化而对于每个线丝来说工件的加工槽的加工进度变化的情况，在这样加工进度变化的情况下进行恰当的控制。

附图说明

图1是从正面看本发明的线放电加工系统的图。

图2是从正面看本发明的线放电加工装置的放大图。

图3是表示本发明的极间状态(电压和电流)、加工电源的脉冲(开/关)周期。