[发明专利]一种用于激光器的射频电源

权利要求书

1.一种用于激光器的射频电源，其特征在于：包括：单片机控制模块（ 1） 、前级信号驱动模块（ 2） 、前级微带分配电路（ 3） 、功率放大模块（ 4） 、微带功率合成电路（ 5） 、功率信号检测模块（ 6） 、射频输出模块（ 7） 、直流电压输入模块（ 8） ，其中，单片机控制模块（ 1） 给出PWM信号与功率控制信号到前级信号驱动模块（ 2） ，所述前级信号驱动模块（ 2） 根据所述单片机给出的PWM信号与功率控制信号输出对应大小的射频信号，所述射频信号输入到前级微带分配电路（ 3） 的输入端，所述前级微带分配电路（ 3） 将所述射频信号一分为三输出到功率放大模块（ 4） ，所述功率放大模块（ 4） 将所述射频信号放大后分为三路输出到微带功率合成电路（ 5） 的三个输入端，所述微带功率合成电路（ 5） 再将三路信号合成为一路输出到射频输出模块（ 7） ，其中功率放大模块（ 4） 是由直流电压输入模块（ 8） 供给电能，功率信号检测模块（ 6） 通过微带耦合的方式从微带功率合成电路（5） 的输出拾取信号，将检测到的信号输入至单片机控制模块（ 1） 。

2.根据权利要求1所述的用于激光器的射频电源，其特征在于：单片机控制模块（ 1）包括8个分电路模块，其中单片机控制电路（ 9） 起控制作用，Can通讯电路（ 10） 起到通讯接口的作用，检测电路包括检测电源的电压检测电路（ 11） ，PWM检测电路（ 12） ，功率检测电路（ 13） ，温度检测电路（ 14） ，湿度检测电路（ 16） ，上述各检测电路将检测到的信号输出到单片机的IO端口。

3.根据权利要求1所述的用于激光器的射频电源，其特征在于：前级信号驱动模块（ 2）包括一个有源晶振，用来输出稳定的射频信号，所述射频信号连接到高频电子开关U4的输入端，高频电子开关U5的输入端接高频电子开关U4的输出端，PWM信号与功率控制信号被输入到高频电子开关U4与U5的控制引脚，U5的输出信号经过低通滤波电路输出到集成放大模块J5的输入端，集成放大模块将射频信号放大并输出，功率控制信号经过运算放大电路放大后，输出到集成放大模块J5，集成放大模块J5根据放大后的功率控制信号的大小输出对应的射频信号。

4.根据权利要求1所述的用于激光器的射频电源，其特征在于：功率放大模块（ 4） 包括输入信号阻抗匹配电路，射频信号经过输入信号阻抗匹配电路后输出到由晶体管Q1、Q2构成的LDMOS放大器，射频信号经过放大后输出到阻抗变换器，将阻抗变换后的两路信号输出到非平衡平衡转化器T4，两路非平衡信号转换为一路信号后输出。

5.根据权利要求1所述的用于激光器的射频电源，其特征在于：前级信号驱动模块（ 2）输出的射频信号输入到前级微带分配电路（ 3） 的输入端，前级微带分配电路（ 3） 包括精确计算长度的覆铜线与3个微波平衡电阻，信号进入电路输入端后一分为三个一样大小的信号输出。

6.根据权利要求1所述的用于激光器的射频电源，其特征在于：功率放大模块（ 4） 放大出来的信号输入到微带功率合成电路（ 5） 的3个输入端，所述微带功率合成电路是由3个微带合成覆铜线路与3个合成平衡电阻组成，微带合成覆铜线路是由1段经过精确计算的覆铜线制成，信号在输出处合成为一路信号。

7.根据权利要求1所述的用于激光器的射频电源，其特征在于：功率信号检测模块（ 6），通过微带感应器从射频输出线路上拾取正向与反向两个射频信号，并转化为直流信号输出给到功率检测电路13，微带感应器是由一段宽是2mm长是40mm的覆铜线构成，当射频输出线路上有射频电流流过的时候，微带感应器的一端产生交流电压信号，输入经过检波二极管后输出到电容滤波再经过一个电阻分压，最后才输出。

8.根据权利要求3所述的用于激光器的射频电源，其特征在于：所述有源晶振是81.36MHz的有源晶振，所述低通滤波电路包括电容C18、C19、C20和电感L1、L2，所述运算放大电路包括放大器U6A与外围电阻电容。

9.根据权利要求4所述的用于激光器的射频电源，其特征在于：所述输入信号阻抗匹配电路包括电感L3、电容C1与阻抗变换器T1。