[发明专利]微机电系统的可动载具结构

说明书

本发明提供一种微机电系统的可动载具结构，应用微机电系统技术于一硅基板形成的可动载具结构，包括框架部、可动承载部，及二组弹簧结构分别设于可动承载部直线移动方向的二侧用以连接可动承载部于框架部内；透过可动承载部上的导电线圈回路及组弹簧结构设计，通过线圈回路导入电流后与外界的铁磁性材料相互作用而产生的作用力使可动承载部直线移动。该可动载具结构具有体积微小化、系统整合性佳、高光轴精度、批量化制造能力等优点。

技术领域

本发明有关一种利用微机电制程技术制作的可动载具结构，特别是一种以电流与磁场产生作用力磁力做为动力来源的可动载具结构，组装应用上易于整合于现行的生产流程中，在商品化的过程中提高产能、减低生产成本。

背景技术

目前市面上的手机以及手提电脑等产品，多已广泛配置微型数字镜头。为了提升产品竞争力，对于微型镜头的需求已不仅只用于定焦镜头，自动对焦以及光学变焦功能成为重要的要求。以自动对焦功能为例，则需要对于镜片产生约十微米的位移量，虽然数字相机已是十分成熟的产品，但由于产品取向不同，手机、个人数字助理(Personal DigitalAssistant, PDA)与手提电脑并不能将一般数字相机所采用的步进马达以及齿轮机构等体积较大的致动组件整合其中。

在多种可使用于小型微机电系统的可动载具结构的动力来源中，音圈马达(VoiceCoil Motor, VCM)是一种理想的选择，利用线圈产生的磁力与外部的磁性部件产生相互作用力，此作用力与结构上的弹簧相互作用后达到一个平衡状态，即可达到定位的功效。由于音圈马达的技术已使用于硬盘中的循轨动作许久，是一种相当成熟的技术。现行市售用于微型数字镜头的外部微机电系统的可动载具结构，将装有镜片的镜筒固定于该微机电系统的可动载具结构内，并于后方装置感光组件后整合成一个具有对焦能力的微型相机模块。

目前已有实际商品化的VCM 微机电系统的可动载具结构产品，但由于其相对较大的体积，使得产品不易轻巧化，且组装过程以及零件数量亦较为繁琐，使组装成本高且良率不易提升。此外，传统机械制程的精密度限制亦影响光学成像质量。

发明内容

本发明的目的是在提供一种微机电系统的可动载具结构，透过微机电系统(Microelectromechanical System,MEMS)技术生产的可动载具结构，以电流与磁场产生作用力的原理驱动载具，载具也带动置于其上的负载，应用可整合于微型相机模块的光学系统内以达到调焦功能，与过去的传统的可动载具结构相比，本微机电系统的可动载具结构具有体积微小化、系统整合性佳、高光轴精度、批量化制造能力等优点。

本发明另一目的在提供一种微机电系统的可动载具结构，透过微机电系统技术生产的可动载具结构，以电流与磁场产生作用力的原理驱动载具，使载具在两轴位移，整合载具结构与影像传感器，使影像传感器做两轴运动，达到光学影像防震(Optical ImageStabilization, OIS)的功能。

为了达到上述目的，本发明提供了一种微机电系统的可动载具结构，应用微机电系统技术于一硅基板形成的可动载具结构，该可动载具结构包括：

一框架部；

一可动承载部，该可动承载部设置于该框架部内，且该可动承载部上设有一导电线圈回路；及

二组弹性结构，二组该弹性结构分别设于该可动承载部在直线移动方向的二侧并用以连接该可动承载部于该框架部内，且在该可动承载部直线移动时提供弹性回复力。

进一步地，其中，该导电线圈回路设置于该可动承载部的一表面。

进一步地，其中，该导电线圈回路内嵌设置于该可动承载部的一表面。

进一步地，其中，该导电线圈回路设置于该可动承载部的上、下表面。

进一步地，其中，该导电线圈回路内嵌设置于该可动承载部的上、下表面。