[发明专利]一种晶圆局部清洁装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造工艺，特别地，涉及一种晶圆激光刻号后的局部清洁装置及方法。

技术背景

在集成电路制造工艺中，在晶圆下线前，需要对每一片晶圆使用激光刻号机进行激光刻号，使每片晶圆具有一个独立的数字身份，以便在集成电路制造中进行有效管理和监控。晶圆刻号的位置通常刻在晶圆的对准缺口处(notch)，激光刻号过程中，由于会产生细小颗粒的硅渣，故在激光刻号后，需要独立的清洁工艺。

晶圆刻号后的清洁都是通过湿法化学手段清洗，一种是槽式清洗机来清洗；一种是单片清洗。两种清洗的共同点都是对晶圆的全局清洗，为保证对硅渣的清洗效果以及不污染晶圆其他区域，需要保证足够的清洗时间以及使用足够的化学液。虽然上述清洗手段可以保证清洗干净硅渣，但从集成电路大规模量产管理角度，存在成本高和时间长的不足。

为此，亟需一种低成本，高效率晶圆刻号后局部清洁装置及方法。

发明内容

本发明提供了一种晶圆刻号后局部清洁装置，采用高纯气体对晶圆刻号区域进行局部高压冲吹，成本低且效率高。具体的，该装置包括：该装置包括晶圆对准装置、晶圆卡盘、晶圆升降控制装置、位于卡盘上方向下的高纯气体高压冲吹管路、以及与冲吹位置相对水平放置的负压抽吸管路。

其中，所述晶圆卡盘通过一定数量的可收缩机械销夹持固定。

其中，所述晶圆升降控制装置包括位于卡盘下方的支架结构，可将卡盘一侧升起或下降使其倾斜一定的角度。

其中，所述卡盘倾斜角度的范围为30°～80°。

其中，所述高纯气体高压冲吹管路所采用的高纯气体包括不限于高纯氮气、高纯压缩空气等。

其中，所述高纯气体压力范围为80-150psi。

相应的，本发明还提供了一种晶圆局部清洁方法，用于对晶圆刻号区域进行清洁，该方法包括以下步骤：

a.提供待清洁晶圆，通过晶圆对准装置进行对准，确认晶圆刻号的位置；

b.将晶圆放置在晶圆卡盘上，并使其刻号的位置位于高纯冲吹气体管路喷嘴下方；

c.通过晶圆升降控制装置将卡盘一侧升起或下降使其倾斜一定的角度；

d.通过高纯气体高压冲吹管路的喷嘴对激光刻号后的区域进行高压喷吹；

e.在步骤d的同时或之前，开启负压抽风管路，将高压冲吹的硅渣产物及时吸走。

其中，在步骤c中，所述卡盘倾斜角度的范围为30°～80°。

其中，所述高纯气体包括不限于高纯氮气，高纯压缩空气等。

其中，在步骤d中，适用的气体压力范围为80-150psi。

本发明提出的局部清洁装置和方法通过物理手段进行，减小工艺成本，提高工艺效率，对IC制造工艺进行了有效的改进。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1是根据本发明的一个具体实施方式中的局部清洁装置的正视图；

图2是图1中清洁装置45°角的斜视图。

具体实施方式

本发明提供了一种晶圆刻号后局部清洁装置，采用高纯气体对晶圆刻号区域进行局部高压冲吹，成本低且效率高。为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的实施例作详细描述。

下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本发明的不同结构。为了简化本发明的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本发明。此外，本发明提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的可应用于性和/或其他材料的使用。应当注意，在附图中所图示的部件不一定按比例绘制。本发明省略了对公知组件和处理技术及工艺的描述以避免不必要地限制本发明。

本发明提出的局部清洁装置和方法通过物理手段进行，具有低成本，高效率的特点，对IC制造工艺进行了有效的改进。本发明中的清洁装置和方法可单独使用，也可以与晶圆激光刻号机联合使用或是与单片清洁机联合使用。

该局部清洁装置包括晶圆对准装置、晶圆卡盘、晶圆升降控制装置、位于卡盘上方竖直向下的高纯气体高压冲吹管路、以及与冲吹位置相对，水平放置的负压抽吸管路。

其中，所述晶圆卡盘通过一定数量的可收缩机械销夹持固定。

其中，所述晶圆升降控制装置包括位于卡盘下方的支架结构，可将卡盘一侧升起或下降使其倾斜一定的角度。

其中，所述卡盘倾斜角度的范围为30°～80°。