[发明专利]自动化多点探针操作

权利要求书

1.一种多点探针(10)，包括相互平行的平的底面(12)和平的顶面(11)，所述多点探针(10)还包括倾斜的平的前面(13)、第一侧面(14a)、所述多点探针(10)的与所述第一侧面(14a)相对的侧上的第二侧面(14b)以及所述多点探针(10)的与所述前面(13)相对的侧上的端面(15)，

所述前面(13)、第一侧面(14a)、第二侧面(14b)和端面(15)中的每一个连接所述底面(12)和所述顶面(11)，所述前面(13)和所述底面(12)在它们之间限定尖的内部前角和前边(43)，所述第一侧面(14a)和所述底面(12)限定了介于它们之间的第一侧边，所述第二侧面(14b)和所述底面(12)限定了介于它们之间第二侧边，而所述端面(15)和所述底面(12)限定了介于它们之间的端边，

所述多点探针(10)的纵向(46)被沿着所述第一和第二侧边限定并且垂直于所述前边(43)，

所述底面(12)设有导电金属层和一组镂刻切口(23)，这组镂刻切口将所述金属层分割成在所述前边(43)处会合到探针尖(26)上的多个信号轨迹(31'-42')、多个接触衬垫(31-42)和多个电缆管(47)，所述多个电缆管(47)中的每个电缆管使所述多个接触衬垫(31-42)的各个接触衬垫和所述多个信号轨迹(31'-42')的信号轨迹相互连接，

所述多个接触衬垫(31-42)被分成第一排(31-36)和第二排(37-42)，它们的位置相互靠近并沿着所述纵向(46)，所述第一排(31-36)和所述第一侧边限定出介于它们之间的所述底面(12)的第一外部区域(25)，所述第二排(37-42)和所述第二侧边限定出介于它们之间的所述底面(12)的第二外部区域(25)，所述第一排(31-36)和所述第二排(37-42)限定出介于它们之间的内部区域，以及

所述的多个电缆管(47)被分成外组和内组，所述外组的电缆管穿过所述第一或者第二外部区域中的任何一个，而所述内组的电缆管穿过所述内部区域。

2.根据权利要求1所述的多点探针，其中所述第一排的接触衬垫的两 个相邻的接触衬垫被所述的一组镂刻切口(23)中的单个镂刻切口分开，而所述第二排的接触衬垫的两个相邻的接触衬垫被所述的一组镂刻切口(23)中的单个镂刻切口分开。

3.根据权利要求1或2所述的多点探针，其中所述第一排(31-36)的接触衬垫和与之相邻的所述第二排(37-42)的接触衬垫之间的最短间隔由所述的一组镂刻切口(23)中的单个镂刻切口限定。

4.根据权利要求1或2所述的多点探针，其中所述第一排(31-36)和所述第二排(37-42)之间的所述内部区域完全被所述内组的所述多个电缆管(47)和限定它们的所述的一组镂刻切口(23)的各个镂刻切口覆盖。

5.根据权利要求1或2所述的多点探针，其中所述的多个电缆管(47)沿平行于所述纵向的方向连接到所述的多个接触衬垫(31-42)。

6.根据权利要求1所述的多点探针(10)，其中所述探针尖(26)包括平行于所述底面(12)并且从所述前边(43)自由延伸的多个探针臂(31"-42")，所述的多个探针臂(31"-42")的每个探针臂设有与所述的多个信号轨迹(31'-42')的单个信号轨迹相连的导电金属层。

7.根据权利要求1或6所述的多点探针(10)，其中所述的多个信号轨迹(31'-42')的两个或更多个信号轨迹相互连接，以限定电子线路。

8.根据权利要求1所述的多点探针(10)，其中所述探针尖(26)包括接触检测器，所述接触检测器包括从所述多点探针(10)的所述前边(43)自由延伸以接触测试表面的悬臂(351)，所述接触检测器借助所述多个信号轨迹(31'-42')的各个信号轨迹连接到所述的多个接触衬垫(31-42)的至少一个接触衬垫。

9.根据权利要求8所述的多点探针(10)，其中所述接触检测器是悬臂应变仪，所述悬臂(351)平行于所述底面(12)并且设有导电金属层，导电金属层在所述多点探针(10)的所述前边(43)处限定第一肢(353)和第二肢(354)，所述第一肢(353)和第二肢(354)与所述前边(43)相交，并且借助所述自由延伸的悬臂(351)使所述的多个信号轨迹(31'-42')的一对信号轨迹相互连接。