[发明专利]高真空电弧泵及其抽气机组在审

专利信息
申请号: 201410340733.X 申请日: 2014-07-17
公开(公告)号: CN104100492A 公开(公告)日: 2014-10-15
发明(设计)人: 储继国 申请(专利权)人: 储继国
主分类号: F04B37/14 分类号: F04B37/14;C23C14/56
代理公司: 广东国欣律师事务所 44221 代理人: 姜胜攀
地址: 518000 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 真空 电弧 及其 抽气机
【权利要求书】:

1. 一种高真空电弧泵,包括泵壳和电源,所述泵壳上设有泵口,所述泵壳一侧的可开合的面板上固设有基座,所述基座与所述面板绝缘,所述基座与所述电源负极电连接,所述基座内侧端与阴极靶固定连接,所述电源正极与所述泵壳电连接,其特征在于,所述泵壳内还设有位于所述阴极靶和所述面板之间的金属挡板,所述金属挡板与周围部件绝缘。

2. 如权利要求1所述的高真空电弧泵,其特征在于,所述阴极靶与基座之间设有材质特征光谱与所述阴极靶的特征光谱相异的导热薄层。

3. 如权利要求2所述的高真空电弧泵,其特征在于,所述导热薄层的材料为铁或铜,所述导热薄层的厚度为0.5~2mm。

4. 如权利要求1所述的高真空电弧泵,其特征在于,所述阴极靶的材料为钛。

5. 如权利要求1~4中任一项所述的高真空电弧泵,其特征在于,所述阴极靶中掺入有其它材料,所述其它材料为镁、铝、锌、钙或其中任意至少两种的混合,所述其它材料在所述阴极靶中的重量百分比为0.5~80%。

6. 一种高真空电弧泵机组,包括真空室,其特征在于,所述真空室分别连接有粗抽泵、牵引分子泵以及如权利要求1~5中任一项所述的高真空电弧泵;

所述真空室通过第一真空阀与所述粗抽泵连接,所述真空室通过第二真空阀与所述牵引分子泵连接,所述牵引分子泵通过第三真空阀与前级泵连接,所述真空室依次经挡尘板、第四真空阀与所述高真空电弧泵连接,所述真空室还分别连接有放气阀和真空规。

7. 一种深冷高真空电弧泵机组,包括真空室,其特征在于,所述真空室分别连接有深冷泵、粗抽泵、牵引分子泵以及如权利要求1~5中任一项所述的高真空电弧泵;

所述真空室通过第一真空阀与所述粗抽泵连接,所述真空室直接或通过第二真空阀分别与所述深冷泵和牵引分子泵连接,所述牵引分子泵通过第三真空阀与前级泵连接,所述真空室经挡尘板和第四真空阀与所述高真空电弧泵连接,所述真空室还分别连接有放气阀和真空规。

8. 一种高真空蒸发镀膜机组,包括镀膜室,其特征在于,所述镀膜室分别连接有粗抽泵、牵引分子泵以及如权利要求1~5中任一项所述的高真空电弧泵;

所述镀膜室通过第一真空阀与所述粗抽泵连接,所述镀膜室通过第二真空阀与所述牵引分子泵连接,所述牵引分子泵通过第三真空阀与前级泵连接,所述镀膜室经挡尘板和第四真空阀与所述高真空电弧泵连接,所述镀膜室还分别连接有放气阀和真空规。

9. 一种深冷电弧泵蒸发镀膜机组,包括镀膜室,其特征在于,所述镀膜室分别连接有粗抽泵、牵引分子泵以及如权利要求1~5中任一项所述的高真空电弧泵;

所述镀膜室通过第一真空阀与所述粗抽泵连接,所述镀膜室通过第二真空阀分别与深冷泵和所述牵引分子泵连接,所述牵引分子泵通过第三真空阀与前级泵连接,所述镀膜室依次经挡尘板、第四真空阀与所述高真空电弧泵连接,所述镀膜室还分别连接有放气阀和真空规。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于储继国,未经储继国许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410340733.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top