[发明专利]高真空电弧泵及其抽气机组在审
申请号: | 201410340733.X | 申请日: | 2014-07-17 |
公开(公告)号: | CN104100492A | 公开(公告)日: | 2014-10-15 |
发明(设计)人: | 储继国 | 申请(专利权)人: | 储继国 |
主分类号: | F04B37/14 | 分类号: | F04B37/14;C23C14/56 |
代理公司: | 广东国欣律师事务所 44221 | 代理人: | 姜胜攀 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空 电弧 及其 抽气机 | ||
1. 一种高真空电弧泵,包括泵壳和电源,所述泵壳上设有泵口,所述泵壳一侧的可开合的面板上固设有基座,所述基座与所述面板绝缘,所述基座与所述电源负极电连接,所述基座内侧端与阴极靶固定连接,所述电源正极与所述泵壳电连接,其特征在于,所述泵壳内还设有位于所述阴极靶和所述面板之间的金属挡板,所述金属挡板与周围部件绝缘。
2. 如权利要求1所述的高真空电弧泵,其特征在于,所述阴极靶与基座之间设有材质特征光谱与所述阴极靶的特征光谱相异的导热薄层。
3. 如权利要求2所述的高真空电弧泵,其特征在于,所述导热薄层的材料为铁或铜,所述导热薄层的厚度为0.5~2mm。
4. 如权利要求1所述的高真空电弧泵,其特征在于,所述阴极靶的材料为钛。
5. 如权利要求1~4中任一项所述的高真空电弧泵,其特征在于,所述阴极靶中掺入有其它材料,所述其它材料为镁、铝、锌、钙或其中任意至少两种的混合,所述其它材料在所述阴极靶中的重量百分比为0.5~80%。
6. 一种高真空电弧泵机组,包括真空室,其特征在于,所述真空室分别连接有粗抽泵、牵引分子泵以及如权利要求1~5中任一项所述的高真空电弧泵;
所述真空室通过第一真空阀与所述粗抽泵连接,所述真空室通过第二真空阀与所述牵引分子泵连接,所述牵引分子泵通过第三真空阀与前级泵连接,所述真空室依次经挡尘板、第四真空阀与所述高真空电弧泵连接,所述真空室还分别连接有放气阀和真空规。
7. 一种深冷高真空电弧泵机组,包括真空室,其特征在于,所述真空室分别连接有深冷泵、粗抽泵、牵引分子泵以及如权利要求1~5中任一项所述的高真空电弧泵;
所述真空室通过第一真空阀与所述粗抽泵连接,所述真空室直接或通过第二真空阀分别与所述深冷泵和牵引分子泵连接,所述牵引分子泵通过第三真空阀与前级泵连接,所述真空室经挡尘板和第四真空阀与所述高真空电弧泵连接,所述真空室还分别连接有放气阀和真空规。
8. 一种高真空蒸发镀膜机组,包括镀膜室,其特征在于,所述镀膜室分别连接有粗抽泵、牵引分子泵以及如权利要求1~5中任一项所述的高真空电弧泵;
所述镀膜室通过第一真空阀与所述粗抽泵连接,所述镀膜室通过第二真空阀与所述牵引分子泵连接,所述牵引分子泵通过第三真空阀与前级泵连接,所述镀膜室经挡尘板和第四真空阀与所述高真空电弧泵连接,所述镀膜室还分别连接有放气阀和真空规。
9. 一种深冷电弧泵蒸发镀膜机组,包括镀膜室,其特征在于,所述镀膜室分别连接有粗抽泵、牵引分子泵以及如权利要求1~5中任一项所述的高真空电弧泵;
所述镀膜室通过第一真空阀与所述粗抽泵连接,所述镀膜室通过第二真空阀分别与深冷泵和所述牵引分子泵连接,所述牵引分子泵通过第三真空阀与前级泵连接,所述镀膜室依次经挡尘板、第四真空阀与所述高真空电弧泵连接,所述镀膜室还分别连接有放气阀和真空规。
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