[发明专利]一种蓝宝石微毛细管的制备方法及其使用的模具

权利要求书

1.一种蓝宝石微毛细管的制备方法，利用边缘限定薄膜供料提拉生长技术，其特征在于，包括如下制备方法：

1)、原料的选择，选用高纯度三氧化二铝作为原料；

2)、模具的加工，模具分为内模具和外模具两部分，内模具和外模具均是将表面加工成镜面水平，然后在内模具的顶端中间位置研磨出一个小孔，然后以小孔为基准把内模具顶端加工成锥形，然后把外模具做内倒角加工，；

3)、将原料放在外模具与内模具的夹缝内，然后将模具放到钳锅内，然后将钳锅放到晶体生长炉内；

4)、将晶体生长炉抽真空，升温，将三氧化二铝熔化成熔体后，熔体上升至内模顶部，开始下籽晶，进行引晶，提拉，优选的，提拉速度为每小时40～60毫米。

2.根据权利要求1所述的蓝宝石微毛细管的制备方法，其特征在于：步骤2)中，内模具顶端的小孔与内模具边缘的同心度小于0.01mm，且外模具的斜面与内模具的外壁的夹角为100～120°。

3.根据权利要求2所述的蓝宝石微毛细管的制备方法，其特征在于：步骤2)中，内模具的小孔的直径为0.1～0.5mm，深为1～3mm，优选的，内模具的小孔的直径为0.1mm，深为2mm。

4.根据权利要求3所述的蓝宝石微毛细管的制备方法，其特征在于：步骤2)中，内模具与外模具之间的距离为0.1～1mm，且内模具与外模具的高度差为0.5～1.5mm，优选的为0.2～1mm。

5.根据权利要求4所述的蓝宝石微毛细管的制备方法，其特征在于：步骤2)中，内模具与外模具均为圆柱状，内模具的外直径为0.3～0.5mm，外模具的外直径为3～6mm。

6.根据权利要求1所述的蓝宝石微毛细管的制备方法，其特征在于：步骤4)中，将晶体生长炉抽真空，真空度7*10^-3Pa；并将晶体生长炉升温2050℃。

7.根据权利要求1所述的蓝宝石微毛细管的制备方法，其特征在于：步骤4)中，在生长结晶过程中温场梯度要严格控制，横纵向梯度要控制在每毫米1°的小梯度范围内。

8.一种用于如权利要求1～7任一项所述的蓝宝石微毛细管的制备方法的模具，其特征在于：由内模具和外模具两部分组成，其中内模具顶端呈锥形，且内模具的顶部设有小孔，小孔与内模具边缘的同心度小于0.01mm，外模具做内倒角加工。

9.根据权利要求8所述的用于蓝宝石微毛细管的制备方法的模具，其特征在于：外模具的斜面与内模具的外壁的夹角为100～120°，内模具的小孔的直径为0.1～0.5mm，深为1～3mm，优选的，内模具的小孔的直径为0.1mm，深为2mm。

10.根据权利要求8或9所述的用于蓝宝石微毛细管的制备方法的模具，其特征在于：内模具与外模具之间的距离为0.1～1mm，且内模具与外模具的高度差为0.5～1.5mm，优选的为0.2～1mm。内模具与外模具均为圆柱状，内模具的外直径为0.3～0.5mm，外模具的外直径为3～6mm。