[发明专利]一种显影液恒温保持管路系统有效
| 申请号： | 201410334927.9 | 申请日： | 2014-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN105319872B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 王丽鹤 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 21002 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 显影液 恒温 保持 管路 系统 | ||
1.一种显影液恒温保持管路系统，其特征在于：包括保温水循环系统(11)及位于显影单元内的集液块(7)、水液分离式药液阀(5)和安装有分液块(3)的喷嘴(2)，其中保温水循环系统(11)的出口通过进水管(8)进入所述显影单元、连接至所述集液块(7)，与显影液源相连的显影液管(10)进入所述显影单元，依次连接集液块(7)、水液分离式药液阀(5)及分液块(3)，所述集液块(7)与水液分离式药液阀(5)之间的显影液管(10)以及所述分液块(3)与水液分离式药液阀(5)之间的显影液管(10)外均设有保温水套管(4)，所述保温水套管(4)与显影液管(10)之间流通有由保温水循环系统(11)提供的保温水；经所述分液块(3)流出的保温水进入所述喷嘴(2)的一个腔室，并通过回水管(9)与所述保温水循环系统(11)的入口相连通，经所述分液块(3)流出的显影液进入所述喷嘴(2)的另一个腔室，喷洒至晶圆(1)的表面；
所述分液块(3)内设有相互独立的第一腔室(301)及第二腔室(302)，所述显影液管(10)及保温水套管(4)分别与分液块(3)相连，且所述显影液管(10)与所述第一腔室(301)连通、所述保温水套管(4)与所述第二腔室(302)连通；
所述集液块(7)内设有第三腔室(702)，在该集液块(7)上开有与所述第三腔室(702)相连通的进水孔(701)，所述显影液管(10)由第三腔室(702)穿出，所述进水孔(701)通过所述进水管(8)与保温水循环系统(11)相连通，保温水由该进水孔(701)流入，并经所述显影液管(10)与所述第三腔室(702)的内壁之间流入保温水套管(4)。
2.按权利要求1所述的显影液恒温保持管路系统，其特征在于：所述集液块(7)上安装有检测进入显影单元的保温水温度的热敏电阻(6)，该热敏电阻(6)与所述保温水循环系统(11)电连接。
3.按权利要求1或2所述的显影液恒温保持管路系统，其特征在于：所述显影液管(10)内的显影液通过水液分离式药液阀(5)控制流量。
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